第84章 現在就拆給你看！
  光刻作為芯片製造流程中最關鍵的環節，其基本原理其實很簡單，就是用光，來完成對矽片的雕刻。

  光刻中的矽片，就像是掛在牆上的投影布，而光刻機則是投影儀，
  如果投影布表面不平整，出現起伏，那投影的畫面自然就會扭曲變形。

  在光刻中，矽片的表面瑕疵，則會導致投影上去的電路設計路變形，從而導致良率降低，甚至整張晶圓報廢。

  所以想要得到一張能用來製造芯片的矽片，則需要把切割後的單晶矽片進行拋光打磨，直至它的表面平整度低於1.5nm RMS。

  這相當於在電影院掛上一塊大幕布，它的表面起伏不能超過一根頭髮絲大小，無限接近於完美的鏡面。

  因此，這對矽片製造拋光工藝要求，自然就顯得極其重要了。

  從圓珠筆頭上的小鋼珠，到芯片的原材料矽片，再到光刻機上的鏡片，最後甚至是科幻小說三體中表面完美無暇的水滴……

  其實考驗一個文明工業水平高度的，就是看你能把一個物品造得有多精細。

  而造精細的東西，自然就需要空氣乾淨的潔淨室，不然空氣中全是灰塵細菌，再怎麽打磨造不出合格的矽片。

  “其實這些年我們通過仿製島國的設備，已經可以達到2.6nm RMS的平整度了，但無論我們再怎麽檢查，哪怕每一個零件都已經達標了，但依然沒辦法繼續突破……”

  嚴輝穿一邊穿著防護服，一邊向康馳介紹著他們的研究進度。

  “拋到2.6nm RMS用的是什麽拋光液？”

  “以SiO2為基礎，加入0-70wt%的雙氧水，最後用KOH調節pH到8.5。”

  康馳點了點頭：“先看看再說吧。”

  兩人穿好防護服後，很快就來到了拋光實驗室，然後由嚴輝主持，向康馳演示了一次拋光實驗。

  在傳統的矽片拋光打磨中，通常會先用機械拋光機，對矽片進行初步打磨，再清洗，最後進行化學機械拋光，也稱為精磨。

  精磨是一種利用拋光液的化學腐蝕功能，配合機械轉盤的機械打磨，兩者互相配合來達到矽片的工藝標準。

  實驗的結果是3.1nm RMS，比他們能做的極限還差不少。

  康馳沉思了片刻，然後說道：“換成30wt%Al2O3基液，加65wt%高錳酸鉀作為化學拋光液，用5wt%HNO3調成8.0的PH值再試一遍。”

  嚴輝點了點頭，帶著研究員們調配好拋光液，然後重新進行了一次實驗。

  “平整度5.9nm RMS。”

  看到這個結果，原本還有點小期待的嚴輝，不由露出一抹失望的神色。

  但康馳卻依然不為所動，又報出了一組拋光液配比，讓他們重新進行第三次實驗。

  “平整度5.9nm RMS。”

  5.9？

  還是5.9？！
  是巧合嗎？

  雖然5.9顯然是遠遠不達標的，但嚴輝卻似乎意識到了什麽，有些驚訝地轉頭看向康馳。

  “你……計算好的？”

  “算是吧。”

  康馳點了點頭。

  這下嚴輝徹底呆住了，
  要知道，化學機械拋光的技術難點，除了拋光設備的硬件要達標之外，還要根據設備性能、矽片參數，來調配化學拋光液，以達到化學拋光和機械拋光的完美配合。

  要想調試得好，首先就需要對設備了如指掌，其次這是豐富的拋光液調配經驗。

  但康馳僅僅只是通過一次實驗演示，就能看似輕松地報出兩組不同成分的拋光液，並在後續的實驗中，達到同一數值的平整度……

  這多少有點匪夷所思了吧？
  哪怕是已經參與過無數次測試的嚴輝，在沒有經過計算機模擬的情況下，也絕對做不到如此精準的控制，

  估計誤差至少得有個0.3nm RMS。

  他有些難以置信地問道：“你到底是怎麽做到的？”
    “嗯，我也說不上來……可能是某種直覺吧，我這人對機械的東西，敏感度還挺高的。”

  康馳思索了片刻，又接著說道，

  “我估計伱這台拋光機，能穩定發揮的正常水平，應該就是3.0nm RMS左右，2.6nm RMS只是你們因為偶然因素才意外達到的，肯定不會超過三次。”

  嚴輝再次愣了愣，顯然是被康馳猜中了。

  “確實，只有一次……”

  康馳本來還想說點什麽，結果肚子都已經餓得咕咕叫了，
  看了看時間，發現三輪實驗過後，竟然已經不知不覺都到了晚上八點。

  “不好意思，一個沒注意都這這麽晚了……大家趕緊收拾收拾，先去吃飯吧，今天辛苦你們了。”

  “嗯。”嚴輝點了點頭道，“那大家吃完飯，九點再回來繼續。”

  “回來繼續？”康馳不由露出了奇怪的表情，“繼續幹嘛？”

  “做實驗啊。”

  “沒用的，這根本不是拋光液的比例問題，你們這是在做無用功。”康馳直接搖頭道，“吃完飯早點回家洗洗睡吧，明天我們再過來把拋光機拆了，如果我沒猜錯的話，是你們的設備安裝有問題。”

  聽到康馳竟然已經猜到問題所在，嚴輝頓時有些激動：“不用等明天，我們現在就可以把它抬出去拆給你看！”

  康馳白了嚴輝一眼：“我餓了，也累了。”

  “……”

  嚴輝不由尬住了。

  “咳咳……抱歉，我忘了你今天才剛從鋼城趕過來。”

  “就是沒從鋼城趕過來，這個點也該吃飯休息了，你們也是，以後能不加班就別加班，雖然時間緊迫，但我們工作也要講究效率，而不是一味地堆時間，你都把人整暈了，還搞什麽研究？”

  “……”

  等收拾完實驗室，脫掉防護服來到公司食堂的時候，已經是晚上九點了，

  因為矽片生產部門是24小時不停工，加上研發製造中心的科研狗經常通宵加班，所以公司的食堂也是24小時供應的那種，隨時來都有吃。

  食堂打飯的阿姨看到嚴輝後，態度相當熱情，往他飯盤裡打的菜都更多。

  康馳忍不住，多看了那阿姨一眼，
  嗯……

  雖然年紀稍微大了點，但勉強也算得上風韻猶存。

  “咳咳，你別多想。”嚴輝看到康馳的複雜表情，連忙輕咳道，“她要是知道你就是大老板，估計打得更多……”

  “我什麽都沒說，你緊張什麽？”

  嚴輝：“……”

  ……

  吃完飯後，康馳便通過電話，聯系上了公司的行政主管，然後在他的帶領下，和陳海一起來到了公司幫他提前準備好的房子。

  這是一棟雙層別墅，五室兩廳，相當別致。

  就是一個人住，顯得空曠冷清了點。

  嗯，
  陳海把康馳送到家後，就不知道跑哪去了，估計在隔壁棟？

  康馳也沒有邀請他和自己一起住，

  不然兩個大男人同一屋簷，

  成何體統！？
  (本章完)