第94章 光刻機比想象的容易

  光刻機很難。

  真的非常非常難。

  難度系數是氫彈的十倍。

  哪怕傾舉國之力也不可能在短期內拿得下。

  以上這些，是經常充斥在衛明耳邊的話，聽得他幾乎耳朵長繭。

  真的有那麽難麽？
  這些天，親自進入研發工廠，了解透了光刻機的工作原理，在“老板工作間”內，利用體內的小黑，輕松打磨出幾十個合格的高精密零件，以及20塊的“鍋蓋”鏡片——每塊“鍋蓋”鏡片，由四十層玻璃疊加而成，表面凸起都不得超過1納米。

  “很簡單嘛，好像沒什麽難的。”

  看著面前成批成批的精度完全合格的零件，衛明撇了撇嘴說道。

  “到底難在了什麽地方？”

  “光源發生器非常難。”

  蒲偉才說道：“要製造出波長13.5納米的極紫外光，必須要用193納米波長的深紫外光，擊打自由落體的金屬錫滴，並且要在極短的時間內，連續擊中錫滴兩次，每秒重複5萬次，才能產生足夠強度的極紫外光。”

  要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。

  自由落體過程中，不僅要被激光擊中，由水滴狀攤平成圓餅狀，再進行第二次擊打，才能擊發出最強烈的極紫外光……整個過程，完全是動態中發生的，如同用繡花針擊中蒼蠅，而且要連續擊中兩次。

  並在一秒內，重複五萬次這套操作。

  “你不是說已經解決光源問題了麽？而且能源利用率達到了5%？”衛明不解的道。

  “光源是解決了，是因為我們用的擊打光源，是特殊晶體擊發出的132納米光，能量利用率肯定比193納米光高的多，但要想製造強度足夠的13.5納米波長的極紫外光，還是得通過擊打錫滴的方式達到，這是唯一可行的路徑。”

  “也就是說，你們隻搞定了擊打光源，然後就說搞定了光源……這兩個不是一碼事吧？”

  衛明眉頭皺了起來。

  “衛總，不是我們愛搞虛假宣傳，可是長期的科學研究，如果沒有點成果的話，誰會關注我們，上面怎麽給我們撥款？所以哪怕只是部分突破，也得重點宣傳一番。”

  一旁的向廣林解釋說道。

  “我們正在攻克的最後一項技術難題，就是錫滴的擊打頻率問題。”

  蒲偉才也道：“我們已經解決了連續擊打問題，但每秒最多重複5000次，不過我們的能量利用率更高，只需做到每秒重複2萬次，就有足夠使用的光照強度了。”

  “所以我們的能量利用率不是沒有意義，每秒2萬次比每秒5萬次，明顯容易實現多了。”

  “每秒2萬次……”

  衛明沉吟了一下，道：“還缺什麽條件，阻止你們達到這個頻率？”

  “精度，控制系統的精度。”

  蒲偉才說道：“如同一個時鍾，同時精確掌控2萬滴錫滴的自由下落，以及4萬次的擊打，時間上，每秒內的誤差，不得超過十億分之一秒；距離上，每秒不能超過1納米，並且還要設計一套‘偏差糾正’系統，只要誤差累積過大，就會自動糾正，讓系統長期穩定的運轉下去。”

  “目前我們正在全力攻克控制系統，糾偏系統稍稍靠後，但也安排了團隊進行攻關。”

  “當然如果從島國進口的相關零件，很快能到我們手中，可能三個月內，我們就能實現擊打頻率突破2萬次。”

  島國？

  三個月？
  衛明搖頭笑了笑，道：“缺什麽零件，就交給我吧，我給你們搗鼓出來。”

  接著他連續搗鼓了三天時間。

  激光頻率控制器。

  高靈敏距離感應器。

  還有這個什麽器，那個什麽裝置，以及衛明叫不出專業名稱的東西。

  三天內他一共搞了十幾個。

  然後讓蒲偉才他們，把這些裝置，塞入到控制系統中，以極高精度要求，組裝到了一起。

  再開啟了試運行。

  “釋放錫滴，初始頻率每秒1滴。”蒲偉才進行指揮說道。

  “開始釋放。”

  “兩次擊打成功，攤平形狀完美，激發效果完美！”

  “增加釋放頻率。”

  “每秒50次試驗成功。”

  “每秒500次試驗成功！”

  “每秒5150次試驗成功！追平最高紀錄。”操作員聲音微顫的道。

  “繼續增加！往上加高一點！”

  蒲偉才也開始激動了，這才第一次進行調試而已，居然就追平了上一套零件不斷調試數百次創造的最高紀錄？
  “每秒5500次試驗成功，創造新的紀錄！”

  “再加！”

  每秒7000
  每秒9000
  每秒1萬

  ……

  一直加到每秒2萬，滿足使用頻率要求。

  所有人都被震驚到麻木，依然是取得成功！
  “再加，再往上加！”

  每秒3萬

  每秒4萬

  每秒4萬5
  每秒5萬！
  “錫滴釋放頻率達到上限，特麽還是取得成功！”操作員毫無形象的狂喊。

  “轉化光強是額定光強的2.5倍！”

  向廣林眼睛通紅的大吼：“這意味著這台光刻機處理晶元的效率，至少艾思邁EUV的兩倍以上，我們一台，能頂他們兩台！”

  “你們別叫！”

  蒲偉才高高揮起了手，目光盯著持續時間後的數據，極力壓製情緒的說道：“看看每秒5萬滴錫滴，每秒10萬次擊打的情況下，這個系統能穩定工作多長時間？你們別吵，你們的噪音，可能影響到它的發揮。”

  所有人都安靜了下來。

  屏住了呼吸。

  目光都死死盯上了持續時間。

  5分鍾
  15分鍾
  第29分38秒

  由於累積誤差越來越大，沒有糾偏系統進行糾正，整個系統終於自動停止了運行。

  啪！
  蒲偉才右拳用力轟擊自己左掌，滿臉漲紅的說道：“3分鍾就足夠了，只要3分鍾，就不用配套設計非常複雜的糾偏系統了，沒想到它堅持了足足半個小時！我們只需設計一套非常簡單的糾偏系統，就能讓它長期穩定的工作了，整個系統的複雜度至少降低10%，為我們省下大量的時間！”

  “太厲害了，太神奇了！”

  作為項目負責人，他自己也大呼小叫：“光源問題徹底解決了，雙工台現成就有，鏡頭完全能用，我們的EUV光刻機，完成度至少超過90%！”

  “我們完全看到勝利的希望了！”

  說著，他淚如壩崩，幾欲捧面大哭一場。

  堅持十幾年了！這一次，他是真的看到希望了，就在他的面前，已然觸手可及。

  見他如此，跟他一個團隊的其他成員，也都擦著眼角，發出嗚嗚的聲音。

  “還沒真成功呢，眼淚不如留到慶功宴。”

  一個略有些掃興的聲音傳來。

  卻聽衛明說道：“蒲博士，剛才你還一臉抗拒的樣子，懷疑我打磨過的東西不能用，現在呢？信我說的話了吧，零件問題，對我公司不是個問題，你說的技術難點，感覺也不怎麽難。”

  “沒錯沒錯。”

  蒲偉才連忙擦淚，露出一張童真笑臉：“衛總你說的沒錯，只要衛總出馬，光刻機，沒有任何什麽難點，我相信在衛總的帶領下，我們能解決一切技術問題！”

  他這次是真心服了，眼裡只有崇拜。

  “沒錯，完全多虧了衛總。”

  “衛總辛苦了，給衛總捶捶肩。”

  “衛總的神級打磨，能創造工業上的奇跡！”

  “衛總才是最大的功臣，感謝衛總。”

  又一波馬屁聲覆蓋而來。

  這一次，蒲偉才不僅沒有咳嗽製止，反而是裡面拍的最厲害的那個。

  當然，馬屁聽一小會就夠，衛明讓他們馬上投入到工作中，繼續尋找問題，解決問題，直到沒有任何問題為止。

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  (本章完)