第666章 濕法蝕刻

　“這是你們設計的方案?”

　王中軍將手裡的文件翻的嘩嘩作響，邊看邊忍不住皺起了眉頭來。

　“用腐蝕劑的各向同性來製作探針，你們考慮過這裡面的工作量嗎?”

　“使用可控制侵蝕速度的硝酸和氫氟酸，我們計算過可能的配比，至少要做上千組實驗。”

　鍾大華的聲音沒有多少波動，昨晚吳牧提出這個思路之後，他們倆就已經通過代理公司搜集了相關的信息，但情況卻有些出人意料。

　在美國的數據庫裡，並沒有與這個思路相關的技術。

　事實上從八十年代起，濕法蝕刻在美國就已經屬於落後技術了。隨著製程技術的提高，現在業界主流已經是乾法蝕刻更勝一籌，因為乾法蝕刻的各向異性更好，芯片的成品率自然更高。

　也就是說在濕法蝕刻這個路線上，業界並沒有走到盡頭就更換了路線。

　美國人技術比較先進，八十年代之後製程技術發展到微米級，為了克服濕法蝕刻的缺點，應用材料公司直接推出了乾法蝕刻的PVD技術，乾脆另開爐灶了！乾法蝕刻是用等離子體直接撞擊晶圓，從化學反應變成了物理反應，乾脆沒有各向同性的問題了。

　當然，後來乾法蝕刻的物理性蝕刻也不能滿足需求，於是業界又把濕法蝕刻撿回來了。但那也是利用離子蝕刻機將化學腐蝕劑離子化之後，在PECVD基礎上搞的濕法蝕刻。

　各向異性的問題，早在八十年代美國人就解決了。

　如今鍾大華和吳牧想要走回頭路，其實是挑了一條充滿荊棘的小路在走。

　想要參考、借鑒，可根本就沒有先例可循。這樣一來，難免讓人有些心理打鼓了。

　不過鍾大華臉上根本看不出懷疑和忐忑，面對上千組實驗需要的工作量，仿佛就像在說下班去哪裡買菜一樣。

　“上千組實驗?我看可不夠！”

　王中軍搖了搖頭，哼了一聲:“這是你們計算配比和時間控制需要的實驗數量，但是你想過沒有，我們要的不是一根普通的針尖，而是一根50納米寬的針尖！除了時間、配比以外，甚至一丁點微弱的空氣流動，都能讓你的實驗結果出現偏差。除此之外，溫度、濕度、空氣雜質，這些還是能想到的干擾，真正做實驗的時候，你會發現更多想都沒想過的干擾源會出現……這些都必須一一排除，一千組實驗你能保證出結果嗎?”

　“我保證……不了。”

　鍾大華的聲音仍然沒有起伏，冷靜的說道:“但矽探針本來就沒有先例，甚至是原子力顯微鏡探針，我們自己都還不能生產。可這個項目隻給了我們兩個月時間，根本沒有按部就班實現的可能。”

　“說實話，我認為吳牧這個思路簡直是為我們量身定做。濕法蝕刻做探針雖然沒有成熟技術可以借鑒，但各種腐蝕劑的性能數據還是很豐富的。這個思路最大的優勢，就是不需要過往的基礎，非常適合技術跳躍式發展。不管是亞微米還是微納米，50納米甚至是10納米，甚至有一天1納米的探針，只需要加大投入就一定能摸索出實現的參數。”

　“我承認我們有賭的成分。”

　“這個路線成功了，我們可以拋開當前的技術路線，走一條完全不同的納米光柵製造體系。”

　“它確實沒有人實現過，但我們講科學，它從理論上有成功的可能。”

　“而且這種可能，也只有我們新科能夠實現。”

　“哦，這怎麽說?”王中軍其實對這個思路還是滿意的，確實很難，但有實現的可能。

　但要說只有新科能實現，這又憑什麽啊?憑胡文海長得帥嗎?

　“這方面我是有依據的。”

　鍾大華說的信誓旦旦，王中軍明顯興趣更大了。

　“在搜索相關文獻的時候，我們發現了一個情況。實際上和美國數據庫比起來，方案中需要的數據反而更多來自研究院的數據中心。”

　“各種腐蝕液配比的研究資料，近十年來反而是我們自己的研究院數據庫更多。”

　“其實這並不難理解，因為我們知道，現在集成電路的製程已經進入了亞微米級，濕法蝕刻早就已經不適應需求了。但在功率半導體上，製程卻並不是越小越好。事實上IGCT的製程基本都在3微米以上，IGBT的製程也是在1到3微米之間。”

　“在業界普遍升級乾法蝕刻之後，新科作為功率半導體的主要生產商，實際上仍然在大量的采用濕法蝕刻，並且持續多年在濕法蝕刻技術上投資改進升級。”

　“由此積累下來的生產和實驗資料，早就已經超出了國際先進水平。”

　鍾大華和王中軍並不知道，這就是胡文海帶來的超前規劃紅利了。

　IGBT是功率半導體，製程上不僅是不需要跟隨數字半導體的製程，甚至更小的製程對性能並不更友好。後世半導體制程都進入10納米以內了，很多IGBT的製程仍然只有0.5微米，這你敢信?

　而後世中國的半導體產業，同樣仍然有濕法蝕刻的一席之地。因為市場上絕大多數的芯片，實際上並不需要最先進的製程。像絕大多數低成本IC、分立器件和微電子機械設備，仍然還是采用濕法蝕刻的。

　濕法刻蝕雖然做不了精細活，但自己也是有優點的。比如說特定的腐蝕劑可以起到專門腐蝕某種材料的作用，隻腐蝕材料而不傷害光刻膠、不傷害下層已經形成的結構，這種選擇性刻蝕的特性，讓它在粗製程下安全性更好，確保不會損傷襯底。

　這幾年在新科的持續投入下，國內對濕法蝕刻技術已經吃的差不多了，也因此積累了超過業界水平很多的數據資料。

　正如鍾大華所說，如果要走濕法蝕刻的路線，那新科還真是得天獨厚。

　王中軍最後又看了一眼手上的資料，重重的點了點頭。

　“行，你等著，我去跟倪院長匯報一下。”

　……

　嘎吱一聲，一輛軍車在半導體所大樓前的廣場上停了下來，它的後面跟著的是一連串的大客車、小轎車，甚至是吉普車。

　“下車，整隊！”

　一群戰士從軍卡的後面跳了下來，迅速的排成了整齊的隊伍，一個中隊長這才轉頭向王中軍跑了過去。

　“是王中軍同志嗎，我是武警支隊三中隊的，我姓張。”

　“幸不辱命，這是你們點名指定的其他研究單位的研究員，總算是如期安全送達了！”

　王中軍收回看向車隊的目光，和他握了握手:“張隊長，你們來的真快，辛苦你了！”

　“不辛苦王同志，接下來我們還有很久時間可以相處，不需要這麽客氣的。”

　“那我們接下來的安全，就全托付給張隊長了。”

　王中軍的方案報上去，作為所裡目前最重要的項目，當然會得到無條件的支持。

　實驗多、時間緊，光憑半導體所，想在兩個月時間裡完成實驗，幾乎是不可能的事情。要搞攻關模式，從外面調人過來分擔工作，保密問題就不能不重視。

　張隊長和他的支隊不僅是保護他們的安全，同樣也有監視和隔離的責任。

　在當前的局勢下，光柵項目至關重要，誰也不敢冒一丁點的危險。

　而跟隨他來的這些人，也都是王中軍親自點將，從繡城附近各大研究所抽調的骨乾人員。這麽一大批人突然抵達，半導體所的後勤人員簡直忙瘋了。

　不過這顯然是物有所值，很快這些人就分配了實驗任務，然後帶著從繡城各大學抓來的研究生，開始有條不紊的工作起來。

　有人、有方案，幸運的是在這個思路下實驗條件要求還不算特別苛刻。半導體所裡無塵室是標配，其他的實驗室項目紛紛給光柵項目讓路，並且更多的原子力顯微鏡也被迅速送了過來。

　原子力顯微鏡在國內還是稀罕貨，好在這東西不是瓦森納協定的禁運物資，新科披個馬甲去國際上采購一圈，等實驗做完了還能低價二手處理給國內其他研究所。

　今天你借我一台，明天大不了我還你兩台。

　這樣人、財、物迅速集結，半導體所儼然就是要打一場小型的科研攻關戰。

　苦雖然是苦了點， 但知道、不知道內情的研究人員們卻都沒有什麽抱怨的聲音。家裡有組織上照顧，兩個月而已，做起實驗來一晃神的功夫就過去了。

　而這兩個月以來，國際局勢的變化又可以說是給所有人都上了一課。

　不僅是落後就要挨打，而是不是第一就要挨打！要說國內沒有因此憋著一口氣，那是怎麽都說不過去的。

　想給美國人一個教訓，想大聲的對他們說“NO！去尼瑪的！”

　帶著這樣的情緒，時間從盛夏進入了初秋。十月酒泉的氣溫最冷已經到了零下，但就在原本應該夜深人靜的時候，一支支從全國各地趕來的車隊，卻在這裡熱火朝天的相遇了。

　不論多麽凜冽的寒風，竟然都無法熄滅他們的熱情！

　王中軍從車上跳下來，緊緊抱著手中的盒子，眼前看到的便是這樣一番景象。

　(本章完)