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《重生之工業大亨》第一百二十章:乾法蝕刻
總算是給政府解釋清楚了,不管他們到底相不相信,起碼不會立馬圖窮匕現了,這是他最擔心的。說實話在九幾年的中國,最多的錢,也不能保證完全安全。政府還是專政機關,外資企業要好點,畢竟他們受自已國家的法律保護,一般的父母官不敢亂來。

從市委朱書記那裡告辭,回到公司後,沈丹青嚇得出了一身冷汗,幸虧他說服了朱書記,否則長勝投資集團就有可能止戈成沙了,這可不是開玩笑。當然啦!也幸虧這件事上了中央新聞,有可能被高層領導關注了。政府可能也有這方面的顧慮,總之這件事情算是過去了。

這件事情過後,長勝投資集團總算是過了一個坎。沈丹青也更加希望能快點將總公司搬去長沙,於是他更加頻繁地向王全福了解長沙工業園的籌備情況。

王全福真是哭笑不得,才剛開始派人去,能有多大的進展,他們第一期選址都還沒開始呢?因此他隻好親自上來,耐心地跟老板解釋:“老板,他們還在考察地形,,總得做一個全局的規劃,否則以後會顧此失彼。”

“好吧!是我心急了,你讓他們仔細地規劃吧!有了結果再告訴我。”沈丹青承認自己心急了,正所謂關心則亂,得好好冷靜冷靜了,他在心裡對自已說。

“好的,老板。我有消息會第一時間告訴你的。如果沒什麽事,我就告辭了,公司還有一大攤子事等我處理呢!”王全福不敢說老板是亂彈琴,只是說自已很忙,言下之意就是告訴老板,不要下亂命令,耽誤別人的正事。

“嗯!你回去吧!”沈丹青輕輕的揮了揮手,意興珊闌的說道。

時間是一記很好的撫慰劑,任何壞事在它的衝刷下都會慢慢的失去威力,直至被人民淡忘。不知不覺又過了一個多月。在這段時間裡,長勝投資集團旗下各企業集團和單位卻都發展順利。

首先是機械技術研究院和長勝精工,研製成功了芯片封裝設備。這套設備與國外的同類設備有一點點不同,他不是采用什麽傳帶式的流水線。而是釆用他們熟悉的軌道直線電機,上面安裝自動機械臂的輸送方式,等於是初級的智能機器人。自動機械臂上安裝有真空吸盤,盛放矽晶圓的托盤就被牢固的吸附在吸盤上。整個輸送過程,都不需要直接接觸芯片,未封裝的芯片是非常脆弱的,稍有不注意,就會造成機械損傷,甚至是報廢。另外,他們這套設備效率非常高,是完全的自動化,不需要人工參與,因此能保證廠房裡面的灰塵降到最低。整個廠房幾乎是密封的,沒有人員進入,灰塵當然就少了。

物理研究所的胡所長領導的離子注入機事業部,也傳來了喜訊。他們終於研製出了正式的離子注入機設備。能給沈丹青報來喜訊,當然已經是非常成熟的設備了。他們還算是運氣好,幸好物理研究所有現成的質量分析器和離子加速器,這兩樣科研設備。否則如果讓他們從新研究,就不知道要研究到什麽時候了。他們也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此時,就只剩自動檢測程序沒有完成了。沈丹青特意找盧汝成了解了一下,得知他們的任務非常困難,非短時間所能解決。於是他做出了一個決定,讓這套芯片生產設備開始試製芯片,有什麽問題盡量在生產中發現。用財力促進加速芯片技術的發展。前期的問題肯定很多,這些都是自動檢測程序的寶貴的資料。

沒有自動檢測程序,需要人工檢測,芯片生產速度當然非常慢。就像木桶理論所說的一樣,

整個生產速度只能以人工檢測的速度為基準了。不過沈丹青不會在意,對長勝投資集團來說,能用錢解決的問題都不是問題。用納米級芯片製造設備來製造十六位元芯片,難度當然很低了,初次製造,合格率就非常高,達到了53%,不合格的芯片,不是工藝問題,而是化學蝕刻的原因。他們研究的這套化學蝕刻設備太過簡單了,還缺少許多先進技術。他們釆用的是原始的自然蝕刻技術,因此造成的蝕邊非常明顯。化學蝕刻就是用化學藥劑,溶解沒有光刻膠保護的矽晶圓或銅互聯層。如果任由它自然蝕刻,就會造成蝕邊。也就是腐蝕了不需要蝕刻的晶體管和銅聯接線的邊。他們因為是第一次研製化學蝕刻設備,沒有經驗,以為只是一個純粹的化學反應。造出來的蝕刻設備是最原始的設備,以前4位元芯片的時候,人們就是使用這種技術。到如今當然已經不適用了。

得到了化學蝕刻出現問題之後,沈丹青非常重視,他立刻召集了相關科研單位商討對策。

說實話,他們是第一次見到這個問題。用化學方法蝕刻這麽微小的圖形,本來就很神奇。現在卻說這種方法不行,要另想辦法。這可真的難住他們了,他們一時也沒有了好辦法。最後還是沈丹青記起了前世的一些書上講過,蝕刻分為濕法蝕刻和乾法蝕刻。因此對他們說:“試試乾法蝕刻,或許要好許多。”

“老板,什麽是乾法蝕刻?你能祥細的告訴我們嗎?”化學研究所的所長王波就站出來問他。沒辦法誰讓化學蝕刻技術是化學研究所的主要責任呢?

“先聲明啊!我不懂具體原理。我只知道在一定的氣壓壓力下,電漿離子與氧化矽或銅起反應或高速撞擊,使之同樣氣態電離化,然後用抽氣機抽走。又進行同樣的步驟,直至蝕刻出我們需要的圖形。這種方法能減少侵蝕,得到比較陡邊的圖形。應該來說會比濕法蝕刻好得多,也精密得多。不管怎麽樣!大家先試試看吧!”沈丹青將他所知道的隻言片語講了出來,具體的技術和方法就要他們去研究了。

“老板,具體點,是哪幾種電漿,你知道嗎?”王波以希翼的語氣問他。他自己也知道老板可能不知道,所以才用這樣的語氣請問他。

“我怎麽知道?我又不是科學家,我只不過是看到書上提到了幾句,具體的原理和方法,還要你們自己去實驗,我是幫不了的。”果然不出王波所料,老板不知道。而且他還講的理直氣壯,也不知道他是從哪本書上看到的。要知道他們這些專業的科學家都不知道,也真是怪了。老板經常神神秘秘的,好多的先進技術,都是從他的嘴裡講出來的,雖然只有皮毛,但是起碼有了方向,不再是一無所知。

“大家聽我說,剛才老板己經為我們指明了方向,我們就以這個方向為突破口。我剛才大體考慮了一下,覺得非常可行。許多技術,我們在研製離子注入機的時候己經掌握了。這種新方法,無非是在離子注入機技術的基礎上加上了化學反應。而未知的遊離電漿,我也有了初步的預判。我們隻研究與氧化矽和銅起反應的兩種電漿。其它的蝕刻,還是釆用濕法蝕刻,不會影響成品率。那麽這兩種電漿就是我們化學研究所的任務了。其它的機體部分,還是和離子注入機差不多。我們先試著乾吧!……”

王波主動的站出來發言,話還沒講完,就被沈丹青打斷了:“很好,剛才王所長的講話非常有見地。我現在任命王所長為這次乾法蝕刻設備研發的事業部部長。其他人都要聽從他的指揮,他還可以從整個公司調配人力和資源。為了提高你們的急極性,我提早告訴你們一個好消息。 ”

沈丹青的話沒講完,在場的人的心思就紛紛蠢蠢欲動了。老板嘴裡說出的好消息,那一定錯不了。

大家的舉動,沈丹青都看在眼裡。他不僅沒有氣惱大家打斷他的話,反而非常高興的接著說:“只要這套芯片生產設備,研發成功。具備一定的精確度和良品率,我們就會去長沙設立第一家芯片製造工廠。工廠正式投產之後,所有參與研發芯片製造設備的工作人員,你們的欠款,全部一筆勾銷。怎麽樣?這個獎勵大家滿意嗎?”

整個會場,一時失聲。大家都太震驚了,不敢想象老板既然能給這麽重的獎勵。要知道,參與研發人員,至少都是工程師級別的技術員。級別高了,他們欠公司的錢也就更多,少的也欠了上百萬,多的欠了幾百萬,比如各研究所的所長。這次獎勵,比他們這幾年工作所得的工資和獎金還要多,能不讓他們興奮嗎?“哦!”會場響起了一片歡呼聲,老板的獎勵太給力了,他們一時控制不住自已興奮的情緒,沒有任何人例外。

沈丹青看著會場上的人員的反應,滿意地點了點頭,他要的就是這種效果,只有不斷激勵大家,他們才能給他更大的回報。這點錢算什麽,後世納米級別的芯片製造設備,沒有幾十億你想都別想,單位還是美金。中國人想買,他們還不會賣給你。現在長勝集團自已研發了全套技術,先不管先進與否,只要有了,以後就可以不斷改進。能與歐美並駕齊驅,這種感覺就像毒品一樣,令沈丹青深深的迷醉。

……

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