連學志笑道:“不是不用光罩，而是組合重複使用，將光罩作為固定投資，而不是耗材。”

　　光罩國內也有人叫它掩膜版，在目前所有晶圓廠中，包括intel，台積電，中芯等，都是作為耗材使用的。

　　每一款芯片，都必須為它製作一組光罩組。哪怕它們沒有損壞，到了下一款芯片，這些光罩組，都不能使用了，必須為新芯片製作新的光罩。

　　比如華為麒麟950，流片和生產的時候，用了一組光罩;等到麒麟960的時候，不少設計其實是相同的，但是老的光罩一點都不能用了，必須全換新的。這些成本全部由華為承擔。

　　隨著工藝的提升，光罩的費用也在飛速增加，從幾百萬美元，到上千萬美元，在新工藝的初期，價格甚至會達到上億美元。

　　小米做手機芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失敗。

　　蘋果財大氣粗，可以流片2，3次，然後選出最好的定型。

　　但是換作其他芯片廠，失敗一次就元氣大傷，失敗兩次差不多就要破產了。

　　所以，不要抱怨芯片設計保守，不保守不行。

　　迷你晶圓廠就沒有這些問題了，光罩在這裡是作為固定資產，而不是耗材，流片的成本，瞬間會驟降！

　　陳飛激動不已，跟著他又想起一個問題來:“不知道用電子束，能不能達到10nm工藝。”

　　連學志有些矜持地說道:“我在IBM的時候，做過2nm的器件，當然只有幾十個晶體管了，主要是探索工藝。”

　　陳飛直接跳了起來，要不是連學志就在眼前，要保持形象，他直接想爆粗口了。

　　他激動地走來走去，過了一會兒，才將思路重新整理清楚。

　　他操作了一會，用全息影像的方式，將思路展現出來。

　　只見影像中，芯片設計公司，將設計圖交給晶圓廠，然後晶圓廠分析設計圖，再從光罩庫中，選擇光罩單元，將它們拚接在一起，形成了一張殘缺的圖形。

　　然後電子束用納米套刻的方式，將模板圖形套刻在晶圓上，之後電子束再逐點掃描，將圖形補全。

　　光刻部分，就完成了！

　　當然，真正的生產不會如此簡單，不過大體的過程就是如此了。

　　連學志點頭道:“陳飛，你的理解大體沒錯。”

　　陳飛誠懇地問道:“多謝連教授指點，我還有一個疑惑，就是無塵室。晶圓廠的無塵室，似乎不是單純為了保證晶圓不受灰塵干擾，同時也是為了保證良率。不用無塵室，良率會不會出問題?”

　　連學志笑道:“普通的晶圓廠，需要用無塵室，主要是因為他們的工序太多了，差不多有200到300道工序。但是用電子束，20道左右就可以了。無塵室在這裡不是關鍵。”

　　陳飛終於把大體的問題想通了。

　　為什麽廠房只需要一個足球場就夠了，因為工序少，設備也就少，同時也就不需要無塵室;

　　為什麽一次隻生產一塊0.5寸的單芯片，因為是電子束，哪怕是12寸晶圓，它也得一個一個去刻。所以沒必要用12寸，0.5寸單芯片就足夠了。

　　為什麽不需要額外光罩，因為用的是可以重複使用的光罩庫。

　　而且在製程上，可以直達3nm！

　　一條清晰的脈絡瞬間貫通。

　　陳飛看著全息影像中的迷你晶圓廠運行，不得不讚歎，這個構思實在太巧妙了。

　　如果RB人真的如此做，那麽在接下來的競爭中，他們的反撲將會非常凌厲。

　　同樣的，如果陳飛掌握了這項技術，那麽在製程競爭中，就會迅速反超。EUV的波長很短，只有13.5nm，intel和台積電都還沒用上EUV呢。但是電子束的波長更短！

　　波長短，就更容易開發出先進製程。

　　陳飛來回巡視著，最終將目光停留在電子束光刻機上。

　　他說道:“教授，電子束光刻機才是關鍵啊。”

　　連學志神色也嚴肅起來，說道:“是的，電子束很好，但是它太慢了，之前一直只能在實驗室中應用。RB人的數據卻不同，他們的速度，起碼是1分鍾1片的速度，太誇張了，我不知道他們是如何做到的。或許他們不是用電子束?”

　　說到後面，連學志居然自我懷疑起來。

　　陳飛忽然笑了，堅決地說道:“不管RB人是不是用電子束，我已經決定要用它了！我們就走這條路！教授，我需要一支完整的芯片工藝開發團隊，您能不能幫我招募， 如果您能領銜參與，那就更好了。”

　　連學志說道:“電子束的工藝開發，比起光刻來說，容易很多。不過設備這一塊，我就不行了。”

　　陳飛躬身道:“那就拜托您了。”

　　事情終於有了眉目，陳飛稍微松了口氣。

　　目前所有的問題，都集中在電子束光刻機身上。

　　有個好消息就是，國內目前有頂尖的電子束光刻機設備商，雖然是收購來的。

　　博康收購了英國NBL電子束光刻機，而且把生產線搬到了國內。

　　坦率的講，陳飛不知道他們是怎麽完成此項壯舉的。

　　不過也不需要了解，只要能買到設備就行了。

　　NBL的電子束光刻機，直寫的速度同樣很慢，事實上目前市面上出售的所有電子束光刻機，直寫速度都極慢。

　　是極慢！不是慢。比起光刻來，需要的時間，多了最少一百倍。

　　但是RB的速度，是1分鍾1片，隻比普通光刻稍微多了一點，實在太快了，讓人不敢相信用的是電子束。這也是唯一矛盾的地方。

　　不過陳飛不想深究這個問題，還是那句話，不管RB用的究竟是什麽技術，他已經決定用電子束！

　　因為相比起其他人，他的最大優勢，就是掌控電子和原子的能力。

　　哪怕花掉身上所有的灰霧能量和白霧能量，也要將快速電子束光刻機研究出來。

　　這項技術，是真正的彎道超車。

　　問題主要是，如果真的做出來怎麽解釋?他不可能同時精通那麽多領域，會被人懷疑的。