“當前，業界EUV主要采取的辦法，是將二氧化碳激光照射在錫等靶材上，激發出13.5 nm的光子，作為光刻機光源。”

　辛啟天說著，臉上一副不以為然的樣子。

　身為開掛大佬，時間長了，自然要有這樣的驕傲情緒。

　盡管他自己在這些領域中，並沒有任何新技術新知識點的研發，僅僅是已經學習熟知當前體系。

　但是，依靠強大的開掛後的能力，讓辛啟天非常敏銳的察覺，其實現有的光刻機技術，非常簡陋。

　光刻是集成電路最重要的加工工藝，就好比傳統製造業車間中車床的作用。

　在整個芯片製造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術。

　光刻也是製造芯片的最關鍵技術，佔據芯片製造成本的35%以上。

　在如今的科技與社會發展中，光刻技術的增長，直接關系到大型計算機的運作等高科技領域。

　而現如今的光刻機，其實仍然處於最原始的量變積累。

　運行時，依靠龐大的電力吞吐，吸取足夠龐大的能量，來讓機器運作！

　大力出奇跡嘛，就像是前幾個世紀中，軍工產品裡，人們全都盯著重大火炮去研究！

　談到了詳細的技術信息，在場眾人，有不少並不清楚。

　於是乎，都沒有再發言，紛紛一臉小學生認真臉。

　“光刻機，有點類似於照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻是刻電路圖和其他電子元件。”

　“把芯片製作所需要的線路與功能區做出來。利用光刻機發出的光，通過具有圖形的光罩，對塗有光刻膠的薄片曝光。”

　“光刻膠見光後會發生性質變化，從而使光罩上得圖形複印到薄片上，薄片就有了電子線路圖的作用。”

　“光刻實時上，也不過六七十年發展歷史。”

　“47年，貝爾實驗室發明第一隻點接觸晶體管。59年，仙童半導體研製世界第一個適用單結構矽晶片。”

　“60年代，仙童提出CMOS IC製造工藝，並且建立了世界上第一台2英寸集成電路生產線。GCA公司開發出光學圖形發生器和分布重複精縮機。”

　“70年代，GCA開發出第一台分布重複投影曝光機，集成電路圖形線寬從1.5μm縮小到0.5μm節點。”

　“80年代，SVGL公司開發出第一代步進掃描投影曝光機，集成電路圖形線寬從0.5μm縮小到0.35μm節點。”

　“90年代中後期，光學光刻分辨率到達70nm的極限。”

　“新世紀以來，業內在已經不得不動手研究，包括極紫外線光刻技術，電子束光刻技術，X射線光刻技術，納米壓印技術等。”

　“現有的光刻機構造，一般分為，照明系統、Stage系統、鏡頭組、搬送系統、Alignment系統。”

　“新的各種光刻技術研究中。普遍的把軟X射線投影光刻稱作極紫外投影光刻。”

　“當前，對極紫外投影光刻EUV技術的研究最為深入，也取得了突破性的進展，使極紫外投影光刻技術最有希望被普遍使用到以後的集成電路生產當中。”

　“是距實用化最近的一種深亞微米的光刻技術。”

　“業內，普遍有一種認知，如果不早點推出極紫外光刻技術，來對當前的芯片製造方法做出全面的改進，將使整個芯片工業處在岌岌可危的地步。”

　“所以，其實新時代的節點，變革點，已經能夠清晰的預見。”

　“極端紫外光刻技術所使用的光刻機的對準套刻精度要達到10nm，其研發和製造原理實際上和傳統的光學光刻在原理上十分相似。”

　“對光刻機的研究重點，是要求定位要極其快速精密，以及逐場調平調焦技術。因為光刻機在工作時拚接圖形，和步進式掃描曝光的次數很多。不僅如此，入射對準光波信號的采集，以及處理問題還需要解決。”

　“EUV技術的進展還是比較緩慢的，投資巨大。當前，其實沒有幾家廠商，能夠將這項技術應用於生產中。唯一的AL公司，做出來的東西，也僅僅算是勉強能用。”

　“各家廠商都清楚，半導體工藝向往下刻，使用EUV技術是必須的。波長越短，頻率越高，光的能量正比於頻率，反比於波長。”

　“但是因為頻率過高，傳統的光溶膠直接就被打穿了。現在，半導體工藝的發展已經被許多物理學科從各個方面製約了。”

　“現在的問題的是，第一，EUV光刻機造價太高，好幾千萬優元。”

　“第二，沒有真正合適的光源。”

　“第三，沒有合適的掩模。第四，未研發出合適的光刻膠！”

　“所以，我是打算，咱們可以在光源上，琢磨琢磨。”

　說道這裡，辛啟天頗有些意猶未盡舔了下嘴角，眼神放光的說道:“其實如果不考慮整體行業發展，我個人，更想去研究電子束光刻。”

　“用電子源發出電子束，經過掩膜和電子透鏡，將圖案投射到矽片上，從而形成電子線路！”

　“但是，電子束高精度掃描成像曝光效率低。在抗蝕劑和基片中的散射和背散射現象，造成的鄰近效應。以及其他很多問題。”

　“整個行業，目光都不聚集在這裡。”

　“領先一步是天才，領先十步就是瘋子。”

　“不過，我對這東西，非常感興趣。如果能做的好，可以應用於量子元器件等等生產。甚至，還可以搞粒子束武器。”

　停頓了片刻，最終，辛啟天還是沒有把內心深處的想法說出來。

　那就是，電子束如果技術進一步成熟，完備到最基礎的粒子階段。對於他搞出來的常溫超導體生產製造，應該是有一定幫助。

　或許可以擺脫巨大能耗，來保持超導體狀態的機器桎梏。

　當然，僅僅是有可能。

　在學習這些理論當中，辛啟天的一點發散性思維罷了。他並沒有完全深入去研究。

　一直以來，辛啟天都不會很深入的脫離現實，去研究高深的理論知識。

　相比於科學家來說，辛啟天更像是一個工程師！他最童真的願望，就是製造出各種幻想當中的機器。而不是單純在理論中，尋找未來的理論。

　最初研究量算，是因為辛啟天必須尋找，拿出一個有力的成果，來增加自己強大的底氣和實力。

　東西是研究出來的，但完全沒有市場應用效應。一台大型量算，造價高達近百億優元。運行中，每年也得好幾十億投進去。

　根本就是入不敷出。

　如果沒有AI的加成，如果不是辛啟天開掛。這東西運行起來，也不一定能夠幫助科學發展。

　開機一段時間，消耗的投資，根本不足以正常科學家進行任何有效的研究。完全浪費資金！

　QLTS量算出來了好些年。

　可是受製於現實科學技術因素，辛啟天一直無法真的有效解決應用的問題。

　單一的微型量子元器件，他都不知道該怎麽生產出來。

　理論積累，這些年斷斷續續倒是有不少。生產工藝技術，如果能夠達成，那麽對於世界的影響，絲毫不亞於啟天AI的出現！

　在發現電子束一些模糊的前景後，辛啟天心理撓癢癢一樣，很想去研究。

　可是，必須立足於現實。他最終還是決定，去琢磨EUV技術。

　沒辦法，沒有整個生產鏈體系效應。就像是最開始的量算，造出來，也僅僅是表明自己強大底氣。

　問題是，該知道的人，已經知道了。

　其他不用炫耀的地方，自然不會炫耀。沒名沒利，只是滿足自我內心問道精神。

　辛啟天在開掛十多年後，已經成熟起來。能夠學會選擇，學會放棄。

　正是基於前世積累，辛啟天不是一個單純的一位追求求知欲的科學家。而是個現實的工程師。

　因為，科學家發起瘋來，比如說搞生命科學。

　一旦不懂得選擇和放棄，那麽，很有可能帶來極為恐怖嚴重的後果！

　人類文明，甚至都會發生改變。

　在一些個場合，新聞媒體上，國內高校推辭不過去的演講中，辛啟天多次提到過這個概念和思考。

　沉思良久，辛啟天很是遺憾的歎息一聲，“算了，不提粒子束，弦網液體這些東西。”

　“我們言歸正傳！”

　“我的看法是，直接上手EUV技術，先從光源研究。”

　“光源由光的產生、光的收集、光譜的純化與均勻化三大單元組成。”

　“最初光刻機，是采用汞燈產生的 436nm g-line 和 365nm i-line 作為光刻光源。後來采用248nm的 KrF準分子激光作為光源，將最小工藝節點提升至350-180nm 水平。”

　“但是，再往下其實就很難了。”

　“據我了解，新技術處在一個變革的關鍵，事實上所謂的AL的EUV機器，其實根本是個束之高閣的東西無，無法真正應用。”

　“市場上，還沒有一家企業購買過！”

　“在公司內部，具體細節不清楚，但很顯然有重大技術難題他們沒有突破。”

　“光刻機是個小市場，一年賣幾十台的就算大廠了。現在半導體晶圓工廠攏共也沒有多少。一台機器還能有好些年。”

　“但是，投資又很巨大。資本回報率很低。在國際上，除非是戰略考量，並且當做一張關鍵外交牌來打，否則單純為錢，是沒有企業願意做的。”

　“00年的時候，傑奔尼康在這個領域中，是絕對霸主。”

　“可是在今年，AL的市場佔有率，已經達到七成！”

　“AL具體的發展思路規劃，咱們並不清楚。不過，這家企業，八十年代三十幾個人開始在飛利浦那邊做起。”

　“這麽短時間，直接走上霸主地位。背後依靠的，自然就是超前一步的發展方向。”

　“97年，英特爾搞了個EUV LLC合作組織。由優絲官方牽頭、集合了摩托摩拉、AMD、以及優絲著名的幾家實驗室，勞倫斯利弗莫爾實驗室、勞倫斯伯克利實驗室、桑迪亞國家實驗室。”

　“投資數億元，集合數百位頂尖科學家搞理論研究。”

　“AMSL也加入了這個項目中，給優絲發了一大堆誓言，比如親愛的爸爸，你是我永遠的明燈之類的。因為，除了他們，沒有其他國家光刻機企業加入。”

　眾人聞言，紛紛笑了起來。

　優絲的霸道，大家夥心知肚明。你要是不給人家當奴隸，而且是那種我累死累活，吃不飽穿不暖勉強活著的奴隸，否則，優絲不介意直接讓你成為最後的莫西乾人。

　“從97到03年，項目組科學家發表了數百篇論文，驗證了EUV光刻機的可行性。”

　“然後，AL就開始做了。06年，搞出了原型機。07年，建造了一萬平米的超級無塵室。”

　“接著，就連續幾年宣傳出現了真正的機器。不過，市場不會騙人。沒有企業購買，顯然技術有問題。”

　“但是我想，時間已經很緊了。從我的信息渠道來看，三五六年，機器可能會進入晶圓工廠。”

　曹嘉許皺眉說道:“老大，不會這麽誇張吧。”

　“EUV算是軟X光，穿透物體時，散射吸收非常厲害。光刻機得需要非常強的光源，並且內部還要做成真空的。”

　“幾納米的精度要求。對光的集中度要求很高。相當於拿手電筒照射到月球，光斑不超過一枚硬幣。”

　“反射要求，反射要求的鏡子要求長30cm起伏不到0.3nm。 比我們搞高精度的數控機床還難無數倍。應該是人類精密製造的最尖端了。”

　“提供這些技術的是Cymer公司，這家公司近來發展非常不好。而且現在還是經濟危機，全球半導體產業影響也不少。”

　“時間會比較緊張的吧?”

　曹嘉許在啟天科技公司，是數二的光學領域大牛。本身是超級學霸天才，這些年來參與項目不少。自己也搞了許多手機鏡頭模組的項目組。

　對於業內相關信息，知道的很清楚。

　辛啟天輕輕搖頭，“是這樣的，不過AL已經有收購Cymer的打算了。收購不會很快達成，得優絲官方爸爸點頭。然而Cymer馬上會獲取一大筆研發資金。”

　“另外，具體他們的研究進度，其實並非常順利！”

　這些信息的獲取渠道，辛啟天不會講出來。盡管如此，大家卻都沒有任何懷疑。辛老大的能耐，眾人還是佩服的。