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《還有人做半導體嗎》二十九 破碎的晶圓
  晶圓就是指的薄薄的矽片,fab裡叫wafer,圓碟形,直徑300mm,也就是常說的12英寸。裸晶圓厚度700多um,製造完之後差不多1mm左右。這麽一片wafer,出廠價因工藝複雜程度而不同,以2010年的水平,28nn的頂尖工藝,差不多在2萬多一片。也因此,矽片也叫矽黃金。

  但wafer不是黃金,而更接近於工藝品,其最大的相似點在於其脆弱性,因為其薄,也就容易破損,而製造過程中一旦出現破損,除了本身報廢之外,還會汙染機台,必須立即down機,影響產能。

  流水線之所以效率高,就在於其流水線,一旦失去流動性,那就是災難,產能跟不上,就影響後續交貨,影響交貨就是影響產品上市日期,而錯過最好的上市日期,對於一家公司而言,可能就意味著落後,嚴重者破產。

  所以fab裡在生產過程中,制定了每一個步驟的sop來規避風險,防止mo,但制度再完備,也有疏漏之處。畢竟機台會抽風,操作工會打盹,更別說一個跳電可能會帶來全廠機台異常,warning大作。

  設備廠商也做了很多努力,希望異常發生時能夠及時停止,做出預警,減少損失。但意外還是有的。

  周一早上,孔明剛到公司,就聽到一個噩耗,他的一個實驗lot昨晚出事了,有一片wafer在作業過程中從托盤上滑落,破碎在機台裡,造成了嚴重的事故。

  “碎了幾片,是哪個lot?”孔明趕緊問昨晚的值班工程師。

  昨晚值班的有石帆,他拍了拍孔明的肩膀說:“昨晚幸虧是我值班啊,如果換做別人,肯定半夜call你了。”

  出了這樣的大事,及時通知lot owner是應該的,不過石帆跟孔明一個組,所以大部分事情就幫他cover了。

  “謝謝帆哥。”孔明真心實意的說,這是他帶的lot第一次破片,雖然責任不在他,但自己的產品出了問題,肯定會影響實驗進度。

  “你直接看製造部的報告吧,現在應該已經放進今天的交接folder了。”石帆說。

  孔明趕緊打開報告,了解情況。

  原來,在昨晚凌晨三點的時候,一片wafer在進etch機台的時候,chuck出現異常,出現了詭異的失壓,wafer就滑進了機台,當場破碎,機台汙染,警鈴大作。唯一的好消息是那個機台是單片作業,只有一片wafer出問題,同卡lot的其他wafer加掃了defect之後,並不嚴重,應該還可以繼續往下流片。

  受此影響,設備工程師被highlight,設備廠商被連夜喊進車間處理問題,估計又要涉及一批人沒完沒了的報告與賠償交涉,而對孔明的影響則主要是實驗數據缺少了一環,導致分析結果的時候缺一個數據,但還是可以分析的。

  “魏哥,怎麽辦?咦,魏哥,臉色不錯嘛。”孔明過來找魏延求救,發現魏延雖然眼角略有疲憊,但精神飽滿,連帶整個人的氣質都變了。

  魏延也看過了事故報告,並且檢查了split table,說:“下次再找個lot驗證吧。”言下之意,竟然是整批實驗要報廢的意思。
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