大亂子還是來了。

　　即使昨天加班到半夜，孔明跟魏延也沒有查出個所以然，隻好寄希望於是單片問題，雖然他們兩個連自己都不信。

　　果不其然，第二天，隨著更多wafer的yield數據傳進來，越來越多的wafer suffer bin74的問題，最低的一片甚至低於90，這已經是一個慘不忍睹的良率了，要知道，對90nm工藝的earth來說，99是平均值，一下子loss這麽多，簡直是業界恥辱。

　　章丘臉色發黑，責令張偉下周一之前必須給出root cause，不然每一個人都別想好過。

　　張偉畢竟身經百戰，么蛾子見過很多，單片wafer出問題難以追溯，但是現在已經有了接近20片wafer了，應該可以發現問題的，周五加上周末，3天足矣。

　　“小孔，你把最近一個月出貨的earth產品全部整理一下，所有能抓到的數據全部抓起來，wat，inline，defect，warning，今天先做這些。”

　　“如果還是沒有明確的線索，明天開始做tool through，把所有的process tool過一遍，看看能不能發現issue tool。注意，可能不是一家的某個機台，有可能是捆綁在一起，issue才會出現，所以tool through要做的細致而全面，石帆，你幫小孔一起整理。”

　　“另外關注一下同期其他產品的yield，看看是否有類似問題。”

　　張偉一項項布置下來，魏延不用布置，他自然知道怎麽做。張偉沉聲說:“我來看wat，小孔，data準備好之後，全部發給我。”

　　魏延點頭:“我看inline和defect，我待會兒去找一下小青。”

　　小青叫顧小青，是ye 3組的組長，earth前段的owner。

　　從第一片wafer出問題開始算，近乎20%的wafer出現不同程度的yield loss，全部是bin74，漏電相關。這也就是昨天剛開過周會，這個時候估計客戶還沒反應過來，正是fab求生的關鍵期。

　　在最短的時間內找到問題。

　　一條條數據被檢索出來，然後在Excel裡匯總分析，缺少商業分析軟件的輔助，張偉看到這些raw data，也不禁有些頭大，不過他畢竟是過來人，類似的場面也不是沒經歷過，這個時候就要咬牙堅持了。

　　通過張偉等人的緊急作業，初步尋出了3家懷疑對象，分別是poly之後的rta，gate oxide，與poly photo。

　　張偉斟酌了一下措辭，發出了郵件，並且將廠長抄送了進去。

　　郵件一出，人人自危的各家module幾人歡喜幾人愁，被highlight到的只能哀嚎一聲，趕緊去拉相關數據以證清白。

　　找出懷疑點相對容易，但想證明清白就很難了，需要大量的數據以及嚴密的邏輯論證，這個時候fab一般會人仰馬翻，因為除了日常的繁重工作外，要額外處理這個緊急又重要的事情，因為大家都擔心後續搞大的話，客戶賠償肯定不小，而這必然要牽連到一批人。

　　 rta屬於imp，他們的機台相對簡單，item與parameter都比較簡單直接，所以在周五下班前就準備好了相應數據，翔實的數據讓張偉也無話可說。而這個時候，diff和photo的人還在辛苦的搜尋證據。本來diff的機台也很簡單，但是他們機台軟件不給力，數據導出困難，需要工程師到車間裡面去弄，而且非常麻煩。

　　總之，相關的人員一片人仰馬翻的在忙碌。