第128章 光刻機

　雖然已經是老夫老妻，趙婷還是有點不習慣在劉姨面前太過親熱。反觀劉姨好似看不到一樣，該幹什麽幹什麽。

　趙婷專門開了一瓶菊花白，給三人都滿上。

　“祝你盡快研究出成果”，趙婷舉杯送上了祝福，三人輕輕碰杯，都是一飲而盡。

　續上第二杯酒，趙婷又舉了起來。

　“祝我們國建走出迷霧，國富民強”。

　“一定會的，而且會讓你大吃一驚”，李國成舉杯回應，三人又是乾杯。

　“第三杯酒我來說吧”，劉姨搶著說道:“祝你們恩恩愛愛，多子多福”。

　趙婷和李國成相視一笑，默契盡在酒中。

　他們二人商量過，30歲前暫時不要孩子。趁著年輕，要為國家多做一些貢獻。

　李國成被身邊的人感染，現在也是熱血青年一枚，有時候他自己都覺得不可思議。

　一夜好夢。

　3天后，李國成從分隔實驗室裡安靜地走了出來，面無表情，三人已經起身準備飛奔了，看到李國成身後沒有動靜後，就又停了下來，定定地看著他。

　走的他們身邊，李國成輕輕說了一句話:“成了”。

　“什麽?”

　“伱說什麽?”

　“什麽成立?”

　三個人激動地向李國成求證，他們等這麽一天已經很久了，就是做夢都想著這一天。

　“光刻膠和刻蝕劑”，李國成停頓了一些，然後用堅定的語氣說道:“成了”。

　“萬歲！”

　“我的天啊！”

　。。。。。。。

　三人邊喊，邊和李國成抱在了一起。不知道是誰先留下的眼淚，其他兩人很快也跟著留下了熱淚。

　李國成眼眶也是紅紅的，拚命克制著自己眼淚。

　大家熱鬧了一會，李國成開口說道:“我說，你們記錄”。

　三人趕快回到自己的工位，拿起筆記本，等待記錄。

　接下來，李國成敘述今天的各種配比和實驗特征，並重點指出了最佳配比。

　“張芷靜，周曉娟，你們按照我說的配比，盡快完成重複實驗”。

　這些驗證工作，三人已經駕輕就熟，最近半個月，他們每天都在驗證配比，驗證穩定性。李國成在休息的時候，常常系統性地給他們講解化學和物理知識，他們感覺到自己學識蹭蹭地提升。

　這讓三人更加尊重李國成。不是師徒，勝似師徒。

　現在的二女早就沒有了之前的感情怨念，現在閆解放和趙芷靜好似有點感覺，周曉娟也找到對象，是一名供銷社正式工，據說年底就成親。

　李國成單獨把閆解放叫到一邊，詢問紫光投射的情況。

　“李哥，按照您說的方法，現在的紫光平行照射醃模然後收縮醃模圖形的實驗已經非常穩定”。

　“太好了，帶我過去看看”。

　在實驗室的另一個角落，看到一個黑鐵皮的單向罩子裡，罩子裡面是近似半圓的銀光反射塗層，一個汞燈安裝在罩子裡面，用來產生平行紫光。

　中間是李國成雕刻的醃模板，下面是由三個凸透鏡組成的透鏡組，最下面是一面黑色的木板。

　閆解放自信地打開汞燈開關，這時一束紫光投射在黑色木板上，上面泛出來點點熒光，一副縮小的圖形出現在木板上，

線條非常清晰。 李國成大喜過望，用力拍了拍閆解放的肩膀。掃描完三維立體圖，拆下燈罩，在念力的加持下，對裡面的反光層進行手工拋光。

　然後對凸透鏡又進行了精密拋光。重新安裝完成，打開念力，滿滿調整焦距，直到投射到木板上面那個的圖形線條清晰度最高，才記下了尺寸。

　李國成親自動手，使用曙光II型機床，用了兩天時間完成了第一代光刻機的製造和安裝。分上下兩部分，上面時紫光產生模塊和掩模板安裝架，下面時底座，可以安裝晶圓，晶圓安裝大小可調。

　上面部分在外殼上采用鏤刻手法，雕刻了一條威武霸氣的神龍，龍口就是紫光的投射口。一隻龍爪做成醃模板的安裝座。

　紫光部分可以在底座上平面移動，移動精度超過了0.01mm，主要是軋鋼廠的最高測量精度就是0.01mm。

　整個光刻機雖然簡陋，卻是可以滿足現在工業化生產的要求。李國成相信，這是現在全世界最先進，最漂亮的光刻機。

　使用風機對光刻機進行了徹底清理，李國成和閆解放拿著它來到了新建成的無塵車間。通過更衣，吹風等環節，進入車間裡面。

　把光刻機固定到專門留出的工作台，上電重新檢查和調整後，離開了車間。

　此時的無塵車間被隔離成三個空間，分別稱呼為晶圓製備間、光刻間和後期車間。他們之間用大塊的雙層玻璃隔離。大小分別是200平，300平和500平。

　晶圓製備間裡安裝著真空提拉爐、切片機和研磨機。光刻間安裝有真空氧化爐、真空擴散爐、光刻機和刻蝕機。

　刻蝕機由三個抗腐蝕腔體組成， 前面兩個腔體用於刻蝕晶圓，後面一個存放清洗液。說是刻蝕機，其實全程人工操作。把晶圓從一個液體箱拿到另一個液體箱。

　所有真空爐只有主體在車間裡，其他部分放置在無塵車間外邊的一個設備間，他們之間裝有玻璃窗，通過這個窗口無塵車間裡的工人可以指揮設備間的工人啟停各個真空爐。

　後期車間主要完成芯片的切割、光學檢查、封裝和測試。排列著四排工作台，總共可以容納50人同時工作，靠牆是收納櫃。

　三個車間所有設備幾乎都是李國成親自參與，最少都是親手裝配。所有車間燈火通明，非常空曠，工人操作時誰都不會影響誰。

　現在是萬事俱備只欠東風了，而東風正在驗證中，驗證通過還需要具備工業化生產的條件。

　一周後，所有驗證工作結束，也調配出足夠的光刻膠和刻蝕劑。

　新的一天，早上8:30，此時的無塵車間裡站著幾人，李懷德、吳連奎、王工、易師傅、張頭、張芷靜、周曉娟、閆解放、唐大年、王大勇和那三名不配擁有名字的七級鉗工。

　李國成正在光刻間裡面作最後的調試。大家都站在玻璃前，沒有一人願意坐下，都目不轉睛地盯著李國成操作。

　半個小時後，李國成轉身向大家打了一個ok的手勢，一些人雖然不知道具體意思，但是都能夠理解，設備一切正常。

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