很快，DUV浸潤式光刻機的控制台和互聯網鏈接成功。

　　屏幕上，注冊軟件自動運行。

　　“鏈接未來科技公司服務器成功。”

　　“機器注冊中……”

　　“注冊成功！”

　　“獲得測試授權，授權期限為15天。”

　　伯靈院士看到屏幕上顯示的文字後，臉上壓抑不住的激動。

　　現在，最關鍵的控制系統已經安裝到位，整台DUV浸潤式光刻機已經完整，可以開始進行測試。

　　只要測試合格，種花國第一台DUV浸潤式光刻機將要在他手中誕生，將要在海上微電公司誕生。

　　不管是對他而言，還是對海上微電公司而言，這將是無上的榮耀。

　　“韓總，可以了嗎?如果可以，我想馬上開展測試。”伯靈院士無法壓製心中的激動。

　　玻璃隔斷外，聽到伯靈院士的話，科學院的幾個院士身體前傾，眼神羨慕的看向伯靈院士。

　　“伯靈的運氣真好！讓他撿到那麽大的便宜！主持種花國第一台DUV浸潤式光刻機的生產，如果這次成功了，他的名字將會留在教科書上。”

　　到了院士級別，金錢、地位都不缺，他們想要的是，如同其他科學巨匠一樣，將名字留在教科書上，留在歷史書上。

　　“伯靈院士，請等一下……我給你們的設計圖中，帶有自檢模塊，剛才安裝的控制程序中，也帶有自檢模塊的軟件。”

　　“通過軟硬件配合。”

　　“可以對工件台的移動精度，定位精度，移動速度進行自檢。”

　　“同樣的，控制程序帶有的自檢模塊，可以對光源的功率，光源波長的純度進行自檢。”

　　“也可以對鏡頭的透光率，清潔度，安裝位置是否偏移進行檢測。”

　　“只要檢測通過，就說明光源和工作台是能夠正常工作，可以進行芯片加工。”韓陽一臉認真的說道。

　　伯靈院士聽後，直接瞪圓了眼睛，有些不敢置信的說道，“你的意思是，只要通過軟件自檢，就說明這台DUV浸潤式光刻機質量合格，可以來用進行芯片生產?”

　　“不是！”韓陽搖了搖頭，然後繼續說道，“這台DUV浸潤式光刻機的光源、鏡頭、工作台是按照我的設計圖來加工生產的，帶有我專門設計的自檢模塊。”

　　“通過自檢，只能說明光源、鏡頭、工件台沒有問題。”

　　“機器的其他是你們自己設計生產的，有沒有問題我不清楚。”

　　“對了，伯靈院士，你們設計的部分，帶有自檢模塊嗎?如果帶有自檢模塊，我提供API，你們可以把這三樣的自檢模塊整合到機器的整體自檢模塊中。”韓陽一臉認真的說道。

　　太先進了！比ASML的機器還要先進！這是伯靈院士的第一反應。

　　想到自家設計的自檢模塊，伯靈院士臉上露出苦笑。

　　他們原來的設計圖上也有自檢模塊，但自檢模塊的檢測能力和韓陽設計的部分，根本就不是一個時代的產物。

　　只能檢測零部件是否損壞，是否通電。

　　和韓陽設計的自檢系統相比，非常落後。

　　看著韓陽那認真的眼神，伯靈院士苦笑著說，“韓總，我們的自檢模塊做不到這種程度。”

　　“需要進行質量檢測。”

　　然後，他眼神炙熱的看向韓陽，“韓總，我記得你說過，要提供全套技術給我們。”

　　“等第一台機器試驗通過後，

請你將自檢模塊的設計提供給我們，好嗎?”　　“沒問題！但需要一些時間。”韓陽點了點頭，開始給伯靈院士演示自檢模塊的使用方法。

　　“開始進行光源、工作台、鏡頭自檢……”

　　“自檢中……”

　　“光源自檢完成，光源穩定輸出功率300瓦，光波193納米，設備正常。”

　　“工作台運行正常，運行精度2納米。”

　　“鏡頭工作正常，透光率，清潔度，安裝位置達到生產要求。”

　　“自檢完成，核心組件運行正常。”

　　在韓陽運行自檢程序的時候，所有人都緊張的盯著大屏幕看，看到自檢系統提示，核心組件運行正常的時候，所有人都松了一口氣。

　　然後，所有人都看向了伯靈院士。

　　“測試組，安裝矽片！”

　　“安裝測試掩膜！”

　　在測試組的緊張工作下，所有準備工作完成。

　　伯靈院士又仔仔細細檢查了一番機器的狀態，最終對韓陽說，“韓陽，你來和我一起按下這個生產按鈕！”

　　“好！”韓陽沒有推遲，他大步來到伯靈院士身邊，然後和緊張得渾身冒汗的伯靈院士，一起按下了紅色的啟動按鈕。

　　頓時，一塊矽片被傳送裝置送到中間的工件台上。

　　工件台將矽片位置固定後，工件台快速而又精準的移動到鏡頭的下方。

　　藍紫色的光芒從鏡頭中照射而出，照射到矽片上。

　　每一次藍紫色的光芒閃過，工件台就以極快的速度移動，速度極快，如同幻影一般。

　　很快，第一批加工好的矽片從機器的左邊被傳送出來，然後被機械手臂傳送到下一台機器中進行顯影，清洗，烘乾等操作。

　　最終，經過一系列處理的矽片，被送到納米級光學顯微鏡下觀察。

　　顯微鏡觀察到的畫面，同步投影到大屏幕上。

　　科學院的幾個專家全神貫注的看向大屏幕，足足看了十多分鍾，科學院光電所的吳起院士聲音中帶著喜悅開口。

　　“光刻位置定位準確！”

　　“圖形套刻準確，邊緣整齊！界線清晰！”

　　“芯片圖案清晰，無光暈，無皺褶，無重疊現象！”

　　“從光刻的角度來看，這塊矽片的光刻完成得非常優秀。”

　　“ASML的光刻機制造的矽片，也只是這個水平。”

　　“當然，最終的結果要等這些矽片切割製作成為CPU後，測試cpu中的電路情況來定。”

　　“但我初步判斷，這台DUV浸潤式光刻機已經成功了！”

　　隨著吳起院士的這句話，全場爆發出無比激動的掌聲，所有人都在鼓掌，在歡呼。

　　“我們終於做到了！”

　　“我們再也不用仰仗別人的鼻息！”

　　“等我們的DUV浸潤式光刻機量產，就是我們反攻的時候，不賣給我們，我們要讓他們的光刻機爛在倉庫中。”

　　“芯片問題，最關鍵的生產問題，終於被我們解決了。”所有人都很激動。

　　種花國在芯片產業上最大的問題，就是生產問題，只要解決了這個問題，就能迎來巨大的騰飛和發展。

　　李侍郎接過話筒，他的聲音中也帶著無法抑製的激動，“祝賀你，伯靈院士！祝賀你們，海上微電公司！你們開創了一個新的時代。”

　　“這次研製DUV浸潤式光刻機成功，最核心、貢獻最大，最關鍵的人是韓陽！”

　　“在這裡，我由衷的感謝你的幫助！”李侍郎停頓了一下，當著眾人的面，向韓陽鞠了一個躬。

　　其他人見狀，也一臉認真的向韓陽鞠躬。

　　所有人都知道，沒有韓陽提供的關鍵部件設計圖，DUV浸潤式光刻機根本就不可能搞出來。

　　“如果沒有你的幫助，沒有你提供的技術支撐，我們或許還需要5年的時間，才能將國產DUV浸潤式光刻機研製出來。”

　　“你是DUV浸潤式光刻機國產化的最大功臣！”

　　“你的名字，會被寫入國家光刻機的發展史！你的貢獻會被所有人銘記！”李侍郎無比鄭重的承諾。

　　科學院的院士們，聽到李侍郎的話後，眼神中全是羨慕，名字寫入教科書，是他們的夢想。