“哦?都有哪些傳感器?”

　　孫廠長坐直了身體。

　　“到目前為止，思路已經成熟的，除了上次展示過的加速度傳感器，簡單一些的壓力傳感器，水平傳感器，還有飛機上會用到的高度傳感器，空速傳感器......”

　　陳泉在黑板上，連續寫下了一長串的名字。

　　既然明白了“他”做的東西，都是傳感器，再去尋找那二十多個實驗的目的，就容易了很多。雖然有些非常複雜的結構，陳泉還是摸不清頭緒，但其中不少結構，每個實際可以有多種用途。

　　更不提，“他”提供了好幾種通用結構。

　　所以，有些傳感器，是原來“他”實驗裡包括的，但也有不少，是陳泉跟趙薇薇討論後，自行擴展出來的。原理搞清楚了，可以很容易的舉一反三。

　　“還有一個結構比較複雜的陀螺儀。這個可以作為我們第一期作品的收官之作。”

　　“陀螺儀?陀螺儀也能用MEMS技術加工出來嗎?”

　　劉院長身邊的中年人，站了起來。

　　陀螺儀在很多場合，都是核心傳感器。

　　“您是?”

　　孫廠長回頭詢問。

　　“我是跟老劉一起來的，你們叫我王工就好了。”中年人沒有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不問了。

　　“你還沒有回答我的問題呢?小夥子！”

　　“哦。當然能了。由於陀螺儀的造型過於複雜，我還特意帶來了它的模型。”

　　陳泉一擺手，曲燕秋就托著一套，由紙殼做的簡陋樣品，走上講台。

　　微電子實驗室。

　　“你的手抖什麽抖啊?這塊晶圓片算是廢了！”

　　張棟被氣得渾身發抖。“你知道，這塊晶圓片值多少錢嗎?加上剛才消耗的各種藥水，製劑，一百元！讓你一抖，就這麽沒了！”

　　“沒有全廢吧。那一半不是還能用嗎?”

　　自知犯了大錯的成興，試圖分辨。

　　1989年的冰城，學生生活費，50元一個月能吃飽，100元，絕對能吃好。

　　“哦，天啊！我真是受夠了。”

　　張棟的耐心徹底沒了。“這是誰出的餿主意！讓這些連課都沒上過的新生，做半導體實驗?”

　　“老張，有點耐心。”

　　在旁邊工作台做實驗的科研人員，邊操作，邊勸解。“你不能期望所有人都跟陳泉一樣，一看就會，一聽就懂的。”

　　“老師，讓我們兩個人一組吧。這次我們小心點。”

　　雲麗上前一步。

　　有了台階下，張棟的態度好了一點。“行，你跟成興一組，於耀贏跟李季一組。剩下的馮言，自己一組。”

　　被訓得滿臉通紅的成興，感激的看了一眼，身邊不起眼的同班女生。

　　在MEMS小組內，人雖然不多，但隱隱分成了幾派。

　　於耀贏，李季，都是陳泉和曲燕秋的嫡系，而馮言，乾脆是陳泉二人的乾姐姐，前些天發表的中文綜述，還撈到了署名，心態都比較好。

　　而雲麗和成興，被拉入小組，完全不知道背後的原因，比較忐忑，做事情也有些畏首畏尾。

　　由於相似的處境，兩個人最近有點抱團取暖的意思。

　　會議室。

　　看到樣品，感興趣的客人，紛紛離開座位，圍了過去。

　　“這不對吧。”

　　王工上上下下，

裡裡外外的把樣品看個通透。　　“什麽不對?”

　　冰飛的周總工，就在他的身邊。

　　“這種結構，以現在的MEMS工藝，根本加工不出來吧。”

　　王工把模型舉了起來，抬高到跟視線平齊。“我記得，MEMS所采用的犧牲層工藝，根本加工不出如此的高深寬比、高垂直度。”

　　犧牲層技術(工藝)，1985年才被引入到半導體加工領域，“表面”微機械加工概念由此產生。之所以，1988年，震驚世界的微靜電馬達能夠問世，就是拜犧牲層技術所賜。

　　王工的專業性評價，大多數人沒有聽懂，但並不妨礙大家把目光投向陳泉，等待解釋。

　　“是的。這個陀螺儀，我不準備隻采用犧牲層工藝。”

　　陳泉沒有絲毫慌亂。

　　記憶裡，陀螺儀采用的加工工藝，的確發生了變化。

　　之所以，陳泉要拋出新論文，也跟加速度傳感器論文，被《Applied Physics Letters，應用物理快報》采用有些關系。

　　應用物理快報，在半導體工藝系列裡，算是與MEMS有關聯的期刊裡，最好的一波期刊了。其SCI影響因子超過了4。

　　(真正的MEMS專業期刊，還沒有面世。)

　　按理，論文被確定采納，是件大好事，但陳泉和曲燕秋有點坐不住了。因為不論是他還是她，都沒有任何感覺。

　　前兩次的過關，陳泉和曲燕秋，都能明顯看到，或者感到一些不同。

　　例如第一次過關，曲燕秋被實質激活，第二次，乾脆蘇醒。可現在，沒有消息，就是最壞的消息。

　　所以兩個人，不得不繼續拔高心理目標，把論文的層次，再推高一個檔次。

　　這次的目標，盯叮住了CNS(CELL， SCIENCE， NATURE)，這三本頂級超一流期刊，一次就給他搞到位。

　　這種超一流期刊論文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在國內，就可以開宗立派，直接成立專屬實驗室，乃至新的專業。

　　這個陀螺儀，以及它後面的工藝論文，就是陳泉和曲燕秋兩個人，精心選出來的目標。

　　.....

　　“不是犧牲層工藝?還有別的工藝嗎?我怎麽沒有聽說?”

　　王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年輕得不像話的青年。

　　“嗯，姑且算是我的發明吧。這次想申請的專利，就有它一個。”

　　國際專利申請的初期，花錢不算太多，交800到一千美元的報名費，就可以有12到18個月的獨佔期。沒有這個時間差，MEMS項目組，支付不起加速度傳感器的專利申請。

　　“這個工藝叫什麽名字?”

　　“嗯，叫.....”

　　陳泉撓了撓頭。

　　所有的記憶，都是圖像記憶，名字什麽的，從來都是沒有。

　　“我還沒有給它起名呢。要不就叫深矽刻蝕工藝吧。”

　　陳泉按照直覺印象，隨口起了個名字。名字說出口後，感覺還不錯。

　　“深矽刻蝕工藝?那是什麽東西?”

　　王工滿臉迷惑。“能不能給我解釋一下，這個工藝是如何實現的?”

　　“能倒是能，不過這可就是真正的核心技術了.....”

　　陳泉十分為難，看向四周，滿臉的不放心。

　　“王工，你就別難為.....”

　　林書強跑過來幫腔。

　　“哈，小夥子，你小瞧了我。”

　　王工突然虎軀一震，挺直了身體。“只要你能說服我，可以實現眼前的這套陀螺儀，200萬的讚助資金，我們航院出了！”

　　“你們航院出了?”

　　陳泉傻眼了。

　　不僅陳泉傻眼了，其他人也都傻眼了。

　　黃楚雄傻眼了，趙良材傻眼了，連林書強都傻眼了。

　　作為校長，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有錢了?

　　航院的劉院長，其實也傻眼了。

　　航院哪裡有什麽錢啊！

　　但他什麽都不說，接著看熱鬧。

　　......

　　“我們單獨聊聊?”

　　趙良材最先反映過來。這位王工，作為航院院長的客人，身份已經呼之欲出了。

　　“好。”

　　王姓中年人直接出手，把講台上的模型，摟了下來，揣在懷裡。“我們走?”

　　.....

　　“等等，等等！等一下！”

　　在一邊看熱鬧，看得正高興的孫廠長，站了起來。“我怎麽覺得不對勁呢?今天的會議主題，不是讓我們冰飛對項目進行審查嗎?怎麽現在就要散會?”