這一章發布屬於意外,把草稿發布出來了。內容進行了局部調整,但現在名字還改不了
本章的名字,應該是144章藍光
奉天,晚上,科儀食堂
劉民學廠長端著打好的飯菜,四處巡視。
科儀廠好久沒有這麽熱鬧的景象了。
前段時間廠裡不景氣的時候,別說晚餐了,就是午餐時段,都沒有多少人,因為很多人都放假回家了。
松花江半導體的訂單,由於產量和參數所限,單價並不高,但是數量比較大。
MEMS傳感器由於結構各異,為了防止不斷調整設備參數造成的質量波動,基本上每種傳感器都需要設獨立的生產線。
國內設備本來價格就不高,再加上定製開發費由國家專項補助報銷,所以松花江半導體一口氣,連定了七八條生產線。相對應的,就是相同或者類似的設備,一買就是七八個。
這批設備的集中交付,讓科儀恢復了久違的興旺景象。
劉民學滿意的在食堂裡轉了一圈,在技術科科長王青山的桌子前停了下來。“你們那邊的MOCVD,調試得如何了?”
“很順利,非常順利。”
“怎麽個順利法?你前幾天不還說,MOCVD的參數很多,調試起來會非常困難嗎?”
“是啊。我也覺得奇怪呢。陳泉一來,隨便調了兩下,GaN的生產情況就穩定了下來。所以,我們的調試工作基本結束。”
其實在陳泉來之前,王青山就已經組織人對設備進行過聯調了,否則他也不敢發消息,請客戶前來參加最後的調試。
雙氣流結構,看起來簡單,但兩個噴嘴之間的相互關系,每個噴嘴的風量,風速,角度等變量相當多,任何一個出問題,都會影響到最終結果。王青山自己調了兩天,最後只能放棄。
“你的意思是,你們那台MOCVD已經調試完畢,可以交付了?”劉民學小小吃了一驚。“這麽快?”
“對啊。”
“等一等,等一等。”劉民學想了想,乾脆緩緩坐了下來。“我記得你一直說,采用陳泉的思路,生成的GaN最後會有晶體缺陷問題,實際根本沒有辦法使用,對吧。”
由於設備的原因,科儀廠對藍光LED技術做了些相關研究。
藍光LED采用的襯底材料不是IC中常見的矽晶圓,而是晶體結構和GaN接近,但晶格常數失配的藍寶石。
由於晶格失配,GaN外延層和藍寶石襯底之間存在失配應力,應力的釋放會導致GaN內部產生大量缺陷。這樣的材料是沒有使用價值的。
“是,是我說的。但晶體缺陷問題,不是我發現的,它是藍光LED道路上的一個公認難題。”
“我當然知道問題不是你發現的。”劉民學用手輕輕拍了下桌子。“可晶體缺陷,到底發生了沒有?”
“晶體缺陷的問題,我們也遇到了。”王青山把兩手一攤。“但問題被陳泉解決了。”
“解決了?怎麽解決的?誰解決的?是修改設備了嗎?我怎麽沒有收到修改通知書呢?”
劉民學感覺才兩天沒有關注,MOCVD項目組裡居然發生了如此多的事情。
“陳泉沒有修改設備,而是修改了工藝步驟。他用了兩段的加熱方式。先在較低的溫度生成一層GaN。然後再把溫度提高到正常的1000度。由於應力會在低溫GaN層被釋放掉, 最後生成的高溫GaN,晶體品質就沒有問題了。”
“就這麽簡單?先用低溫,再用高溫?”
劉民學簡直不能相信自己的耳朵。GaN晶格缺陷問題,名氣非常大。但陳泉的方案,既沒有增加設備,也沒有增加成本。
“對,就這麽簡單。”
王青山撇了撇嘴。“說實話,我到現在仍有種做夢的不真實感。陳泉來了以後,直接上手操作。他給我的感覺,怎麽說呢....就好像他經常用這台MOCVD一樣。可這台設備,明明我們才生產出來。”
“畢竟設備是他設計的,他的操作比生產人員熟練,倒也正常。”劉民學不以為意。“那接下來你們要做什麽?直接驗收簽字,收錢?”
“還沒有。”王青山搖頭。“陳泉說,他要組織一次藍光LED實際生產,來驗證一下GaN的晶體質量。”
“這怎麽可以?”
劉青山一聽就炸了。“MOCVD的驗收,怎麽能跟藍光LED捆綁在一起?我們頂多給他出具個GaN的檢測報告,這還是在我們已經有信心的基礎上。”
“是啊,我也是這麽說的。因為地球人都知道,藍光LED有個p型結摻雜失效的老大難問題。”
王青山聳了聳肩。“可他堅持。”
“這個話,由我來說!明天我過去找你們。我們是設備生產商,隻對設備負責。更不要提,這台設備還是他自己設計的!”