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臨安，蘇省大學微電子學院。

“通入六甲基二矽胺烷……”

“矽片脫水完成，增粘處理完成，開始旋轉塗膠。”

“……”

這已經是他們不知道進行了多少次的實驗流程了，除了操作員時不時進行流程匯報之外，實驗內悄然無聲。

數十名研發人員都靜靜地堅守著自己的崗位，偶爾抬頭看一眼設備運行情況，以及站在操控台中間的那位老人。

“塗膠檢測完畢，未發現氣泡，開始曝光前烘……前烘完畢，光刻機準備曝光……”

在實驗有條不紊的推進中，終於到了曝光環節。

每次進入曝光環節，那短短的十秒鍾，都讓吳利鴻感覺像一個世紀那麽長……

而在曝光的過程中，加裝在工件台的的測量儀器也在同時進行瘋狂的數據收集。

“曝光結束，進入後烘環節，曝光數據正在分析中……”

“曝光過程總產氣量……”匯報結果的研究員停頓了一下，然後用顫抖的語氣念出了數值，“289立方納米！”

嘩——！

聽到這個結果，整個實驗室都頓時安靜了下來，隨後便是陣陣驚呼聲。

“竟然真是光致產酸劑BR-側鍵的問題！”

“吳院士牛逼啊！”

“……”

雖然後烘的具體數據還沒出來，但光是這個產氣量的數據，就已經稱得上是史無前例的重大突破了！

塗滿12寸的矽片光刻膠，在曝光的過程中，才產出了僅僅289立方納米的氣體，

而這麽小的產氣量，光刻膠的曝光邊緣肯定非常光滑平整。

這就意味著更高的清晰度，以及更低的製程。

可以說，他們已經徹底解決了光刻膠最棘手的產氣量問題！

吳利鴻聽到這個數據後，臉上也不禁浮現起了一抹如釋重負的笑容，但這卻讓他的臉上的皺紋褶子更多了……

過了大約十分鍾，曝光後的矽片也已經完成了後烘，並對曝光部分的光刻膠進行了溶解清除，然後又進行了一次堅膜烘焙，加固光刻膠形成的電路保護膜。

接下來，就是他們這個實驗環節最重要的電路圖像清晰度分析了。

而最終的分析結果也果然不出他們所料，在降低了98%的產氣量後，他們得到的電路保護膜，表面非常光滑平整，沒有出現任何坍塌變形！

“膜厚正常，套刻精度正常！”

聽到這個結果，所有人頓時都激動的看著吳利鴻。

事實上實驗進行到了這一步，已經基本可以肯定他們的EUV光刻膠，已經達到了13.5納米的製程標準。

因為他們蘇省微電子的所有精力，都用來研發光刻膠了，對多重曝光等壓縮製程的工藝，沒有太多的研究，所以13.5納米只是他們研究所的最小製程工藝。

而這款光刻膠具體的最小製程，得找申城矽產業或者立昂微來做進一步的驗證，尤其是最早拿到EUV光刻機的申城矽產業，經過這幾個月的摸索調試，他們已經把製程工藝推到了5nm。

不過為了穩妥起見，吳利鴻還是按捺住激動的心情，對大家開口道:“立即準備蝕刻實驗驗證，確認最後的環節沒問題再送到申城矽產業去。”

“明白！”

研究員們聽到後，頓時又開始忙碌了起來。

本來按照他們之前的實驗流程，實驗到了這一步基本就是失敗了，這次其實根本就沒有做好進入蝕刻環節的準備。

但面對這個意想不到的巨大驚喜，大家卻沒有一絲‘臨時加班’的怨言，一個個都吭哧吭哧地開始重新準備實驗。

兩個小時後，最終結果終於出爐了。

他們研發的光刻膠，成功地經受乾法刻蝕中高能粒子的洗禮，順利完成了保護矽片基底的任務，芯片良品率高達98%！

在吳利鴻院士的帶領下，蘇省大學微電子研究員，終於成功研發出了一款能勝任13.5nm製程的國產頂級EUV光刻膠！

而且這個13.5納米製程，只是目前的初步實驗結論。

從他們這次得到的套刻精度來看，這款光刻膠實際上有相當大的可能，可以勝任5納米製程芯片的製造！

吳利鴻也非常沉得住氣，沒有選擇立即將實驗結果上報上去，而是讓研究員們按照上次的配方，重新調配了一批光刻膠。

然後重複做了足足十次實驗，確認每次的結果誤差都在可接受的范圍內後，才帶著光刻膠和團隊的主要技術人員飛往魔都，來到了申城矽產業集團。

此時的申城矽產業的集團總裁陳雲明恰好在和華威的余總和何總，討論華威P6的芯片代工問題。

而雙方討論的要點，就是產量和成本的問題。

華威本著量大從優的道理，想要直接訂購兩千萬枚麒零9000。

但申城矽產業現在，其實也就只有一台秦光一號。

按照秦光一號每小時180片的矽片吞吐量，以及製造出的每片晶圓可以切割出500枚芯片來算，一台光刻機每天的產能應該有216萬枚。

但實際上，光刻機的吞吐量不代表晶圓的製造速度，而是要根據不同芯片的設計，進行多次曝光和蝕刻。

以麒零9000為例，它需要經過足足19次光刻-蝕刻循環，才能完成整個晶圓製造環節，

也就是說，每天理論上只能造11萬枚。

這還是建立在設備24小時不停機休息和維護，以及100%良率的基礎之上。

因此實際產能，平均每天能有8萬枚，就已經很不錯了。

兩千萬枚芯片的訂單，要差不多八個月才能完成，還是把所有產能，都壓榨給華威的情況下。

何況在如此高負荷的運轉下，他們光刻膠的庫存，都不知道能不能撐得住……

“……我們也得考慮成本，也要時間來研發3nm的製程工藝，希望你們也能考慮一下我們的難處。”

陳雲明實在有點受不了兩位老總的軟磨硬泡，最終拍板道，

“要不就這樣吧，我給你兩個方案，一個是150元300萬枚，一個是200元600萬枚， 600萬是極限，已經很夠意思了。”

“呃……”

余總立刻在心裡算了一筆帳。

按照台機電5納米製程，13400美元/片晶圓的價格來算，約等於每枚5nm製程的芯片代工費，是187元。

但台積電的代工是按晶圓來算的，廢品都給你算錢了，而陳雲明剛剛報的是當個芯片價格，等於去掉了廢品，所以150-200元的代工費，在這個特殊時期，確實相當厚道了。

“可是陳總，這買賣哪有越多越貴的道理……”

“這不是情況特殊嘛，如果在庫存光刻膠消耗完之前，國產光刻膠沒有動靜，那我們有光刻機也沒得用啊，只能先省著點花了……”

“其實還有個辦法，就是伱們去找康博士借點光刻膠給我們，那小子賊精得很，早早地就讓我們幫他屯光刻膠了，現在大漢芯業的光刻機屯得比我們還多！”

每每想到這裡，陳雲明都有點後悔當初沒有聽康馳的，提前多屯點光刻膠。

主要是，當初誰能想到他能這麽快搞出EUV光刻機……

就在余總還在考慮著，六百萬枚到底能撐多久的時候，陳雲明突擊接到了吳利鴻的電話。

“吳院士?等等……你說什麽?測試光刻膠?就到樓下了?！”

“……”

放下電話的陳雲明，過了半響才緩過神，然後連忙打了個電話給董建元，讓他下去接吳利鴻。

處理完這些後，他才轉頭看向華威的兩個老總，一臉激動地說道:“我們的救星來了！”

(本章完)

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