“跟實驗室的感覺不一樣吧?”
三天后,工廠的各項工作已經準備就緒,對生產設備場刻儀的改造也已經完成,程旭也是帶著自己的九位“學生”來到了位於華州東南方向的機場空港新區的工廠。
“嗯。”九個人異口同聲的點了點頭。
“現在的工廠由於EDA尚未就位,很多操作需要手動設置參數,我今天的任務十分繁重,一會兒可能顧不上你們。”
程旭交代道:“你們今天的任務就是觀察工廠生產的整個過程,並分門別類的整理好所有的流程和環節
“目的也很簡單,把它融入到EDA的設計當中去。好了,換上你們的防靜電服,各自找好自己的位置。”
看著眼前,僅僅用了十五天就拔地而起的一大片工廠區域,程旭也是一臉的感慨,科技的力量真強大,嗯,還得致敬一直奮鬥在這裡的土木老哥。
……
工廠的第一批員工都是來自千尋科技的玉虛芯科技,雖然玉虛芯科技是一家芯片設計而非生產企業,但芯片設計企業也是要參與流片的整個過程的。
這些人至少對半導體芯片的流片是有一定經驗的,至於荷泵芯片的生產,那不用說了,沒有人有經驗,就算是程旭自己,也只是在實驗室的生產過程有一些經驗。
但實驗室的生產過程,與真正的工廠流片,那可是相去甚遠。
“你們也都知道,這是一個全新的過程,而且現在沒有完全自動化工具的支撐。”
程旭第一件事兒,就是給一線的這些技術人員講解操作手冊和注意事項:
“就算是半自動化的程序,也是這幾天才改造完成的,所以,大家的任務都很重。
“一會兒分配任務,每個人一定快速的記住自己要做什麽,參數怎麽設置,到哪一個步驟了,怎麽調整。
“相關的冊子已經在你們手裡了,每個人手裡都只有自己的部分,內容不多,相信對於在座的各位工程師來說,完全不會是問題。”
在座的工程師們,年齡小的也都有三十多歲了,年齡大的,四五十歲的都有,看著這麽一個小年輕來給自己講解,心裡也是覺得有點兒怪怪的。
倒不是他們有什麽瞧不上程旭的心思,他們既然選擇來到這裡,就肯定對荷泵這個體系做過提前的了解。
就算不了解,千尋科技的這種既送錢送廠又送人的態度,這麽殷勤,還不夠能說明問題嗎?
他們只是覺得,長江後浪推前浪,自己是不是這就要被拍在沙灘上了?
新事物的出現,意味著新機遇,這是他們選擇來到這裡的目的。但是,四五十歲的年紀還能跟得上新事物的發展嗎?
直到拿著自己的冊子,穿好靜電服來到產線的設備前,很多人心裡還在尋思:
“是直接被後浪拍在沙灘上,還是借著這個勢頭直接騰飛,那就看今天這一下了。”
“其實每一個過程都非常簡單,”程旭看著有些沉悶的這些人,也是出聲安慰道:
“比晶圓工廠簡單。這第一步,叫覆板,你可以把它等同為半導體芯片生產過程當中的晶圓切片和打磨工作,過程是一樣的,而且要求都差不多。
“只不過,晶圓片是半導體生產的基底,最終電路是刻畫在晶圓片上的,但荷泵不一樣,荷泵的電路邏輯實在一種特殊的導電膠上。
“這個覆板的這個板呐,只是在場刻過程當中起到一個支撐的作用,
另外其中的一些隱含電路紋路是起到劃域的作用的。” “記住了沒?”程旭看每個人都安安靜靜的在聽,也是問了一句。
“嗯,晶圓切片。”一名約莫四十歲的工程師,名叫沈鍾,他中氣十足的說道。
“也行吧,你先這麽理解,問題也不大。”程旭沒有糾正沈鍾的話,反正流程差不多,不影響。
“那下一步是不是就該塗膠了?”沈鍾直接舉一反三,開口問道。
“咦,沈工,可以啊,”程旭倒是稀罕了,他還沒講呢,這都知道了:“這你都提前知道了?”
“半導體晶圓廠就是這樣,下邊該塗光刻膠了。”沈鍾現在自信的很,他在玉虛芯科技就是負責跟晶圓工廠的對接,流片生產這一套流程他熟得很。
“對,沒錯。”程旭笑著解釋道:
“下一步確實是塗膠,但這不是光刻膠,這幾個膠略微固化以後,就是我們未來的芯片,它是主材,而不是生產輔助材料。
“不過,你們把這個過程就當做塗光刻膠來理解也沒有任何問題,但要注意,這一步的操作要比塗光刻膠要求更高,參數都在冊子上,切記。”
沈鍾頓時得意了,這自己都懂啊,無壓力。
“下一個步驟……”
“曝光, 光刻!”程旭還沒開口呢,幾個人就喊開了,可惜,這次錯了。
程旭看著這些人的工作氣氛,心裡也是十分舒服——這些人鬧歸鬧,做事兒還是非常嚴謹認真的。
“下一個步驟,跟半導體芯片的生產過程就完全不同了。”
程旭這話一出,一群人頓時安靜下來,屏氣凝神的聽著:“我們沒有光刻過程,電路也不是刻畫在晶圓片上的。
“而是用場刻儀這個設備,通過調節不同狹域內的場強度來刻畫到膠體上,整個過程持續的時間要比光刻過程長。
“你們都知道,光刻過程,現在的DUV光刻機一般十二秒,而場刻映射這個過程,每一次參數調節需要持續八秒。
“但每一次生產過程,都需要若乾次的參數調節,具體幾次,怎麽調節,需要根據機器的反饋,而這整體過程下來大約需要五分鍾左右的時間。
“當然,這是目前手動半自動的這個版本,以後肯定會更新改進,全自動程旭的話,那速度就能立即提上來。
“而場刻過程之後呢,我們就需要利用升高溫度的方式來進行一次微烘烤……然後切割……脫板……二次升溫培育處理……”
……
實驗室的九個人一絲不苟的記錄著每一個步驟,並暗自在考慮,這些個生產過程怎麽與自動化工具EDA相結合,怎麽與先期的芯片設計工作相結合。
而原本還有些得意的沈鍾這個時候則是傻了眼,剛剛還全都懂呢,這一會兒自己就完全懵逼了——這都哪兒跟哪兒啊!