第十八章製版 北美舊金山國際智能化公司內,新裝修的辦公室寬敞而明亮,一排排的辦公桌井然有序的安放好,此時還沒有太多的工作人員,所以顯的有那麽一點空曠。
此時在二樓原先的老富蘭克林的辦公室內隻有迪爾博士、張億誠和老富蘭克林三人,盡管現在的天氣已經很熱,但是對自律非常強的三人來說依然一身職業化的西裝、皮鞋加襯衣領帶的裝束,當然外面的空調在毫不停歇的呼呼呼的把室內的影響人情緒的悶熱往外抽走。
“親愛的布魯斯,現在可以把你的寶貝芯片設計方案拿出來了,我們下一步要開始建立我們的流水線了,你可能不太明白,要想我們的產品順利的走下生產線,我需要你設計的芯片的各個設計參數,他包括設計用的層次定義、設計規則、晶體管、電阻、電容等元件和通孔、焊盤等基本結構的版圖,還有與設計工具關聯的設計規則檢查、參數提取和版圖電路對照用的文件,我想這些你應該已經準備好了。”
“是的博士,這些文件我都已經全部準備好了,邊說邊從旁邊的從自己家搬來的保險櫃裡取出來一個公文包,打開公文包裡面的文件整齊的以一個目錄一個目錄的釘在一起放著。
迪爾博士看到眼前這個年輕人如此的年輕卻工作如此的有條理且勤奮和認真,也讓他有些驚訝和佩服,他想不出他對於工作為什麽如此的執著和老到,想想自己在他這個年輕的時候大概、也許、可能還在為能從高中畢業遠離父母而沾沾自喜,或者在酒吧和朋友HAPPY或者想著和那個女孩約會,而眼前這個年輕人生活中似乎除了工作和研究幾乎沒有別的節目。“真的是個讓人敬佩的可愛的小家夥。”迪爾博士心裡暗自嘀咕了一句。
“我們要想生產出達到要求而合格的芯片產品,我們首先必須進行一項非常重要的工作:製版”迪爾博士現在有些欣賞這個年輕人了,好為人師的他所以準備教教眼前這個優秀的年輕人。當然這是在自己和自己的小傑克好朋友的眼中。看了眼張億誠,看到張億誠在聚精會神的聽著自己的說話,迪爾接著說道:“製版就是要產生一套分層的版圖掩模,為將來我們進行圖形轉移,也就是即將設計的版圖轉移到晶圓上去做好準備,這就像做衣服,首先做一個模型後面的全都照著這個模型生產一樣,自然過程不會一樣,但是原理是一個意思。”
迪爾博士邊說把一張很大的白紙,規格應該達到了50CM×50CM,鋪在平整而光潔的會議桌上,把自己從張億誠的設計圖紙中提取的參數版圖按照比例畫在這張巨大的紙上,一層掩模畫一種圖案,迪爾博士在一絲不苟的畫來畫去,不時的喊張億誠和老富蘭克林幫忙拿一下工具或者讀接下來的參數是多少,盡管空調在好不停歇的工作著,但是迪爾博士依然漸漸的額頭開始冒汗,細密的汗珠幾乎快布滿了他的前額。張億誠連忙遞過去一張扭幹了水的濕毛巾。擦幹了汗水又繼續開始忙碌起來。雖然在前世張億誠在芯片企業呆過一段時間但是他除了知道大致的流程外,具體的細節自己還真不清楚,當時自己在的智能化研究所開發的自己需要的芯片基本上都是直接拿到芯片代工廠直接流片出來,生產過程基本不參與。
迪爾博士的猶如藝術般的工作讓張億誠真是大開眼界,經過大約一個禮拜的反覆加班加點的工作後,一副巨型圖終於完成。這個時候迪爾博士又拿出了一個照相機,
把照相機固定在支架上,同時把這副巨型圖小心的固定在一塊平整而光滑的正方形的鐵板上,然後把鐵板豎起裝上一個可以前後左右上下調節的支架,經過反覆的調整,終於迪爾博士確認此時的紙和水平面已經完全的成90度角,迪爾博士又在旁邊開始調節他的照相機來確保拍出的照片正好是個正方形。 “布魯斯,這個過程看懂了嗎?這個步驟叫做初縮,你要記住這個步驟千萬不能出現一點兒的差錯,不然當你流片生產時會發現全是次品。”迪爾博士邊在那反覆的調整還不忘提醒張億誠。
“是的,博士,真沒想到這個過程是如此的複雜,我會謹記你的教誨的。”這也許就是精密工業的所謂差之毫厘以千裡吧,張億誠這樣想到。
終於迪爾博士覺得達到了理想的目的後按下了快門,然後迪爾博士又把初縮版裝入另外一部步進重複照相機中,進一步的縮小,達到設計要求的尺寸,這個時候迪爾博士拿過一塊早就準備好的鉻板,一步一幅的印到鉻板上,形成了一個陣列。
“HI,我的小布魯斯你認識我手上的這個東西嗎?”迪爾舉了舉手上的鉻板問道。
“嗯,根據氣味和表面的顏色應該是鉻吧,下面的應該是石英玻璃。”張億誠根據自己的判斷說道。
“是的,你很聰明,這確實是一塊鉻板也就是掩模,它是用石英玻璃做成的均勻平坦的撥片,表面上在塗一層600~800A厚的鉻,使它的表面光潔度更高。”迪爾博士對於張億誠能回答出他的提問感到很高興,他覺的張億誠是真真正正的學習,任何勤奮好學,而又積極上進的學生都是導師喜歡的。所以現在迪爾幾乎由於傑克的關系而把張億誠當成了自己的學生。“在這種接觸式曝光方法中,掩模和晶圓尺寸相同,不過晶圓是圓的,而掩模是方的”博士邊做著手邊上的工作還一邊不忘提醒張億誠。
“其實這種方法是有很多弊端,我以前在德儀的時候就在研究如何改進製版的工藝,不過還沒等我研究出更好的方法,我就選擇了退休,這次如果不是傑克的大力推薦我想我現在可能還在家裡陪著家人。”說道這裡迪爾博士笑了起來。然後又接著說“讓我和你說說這種方法的弊端,一,圖畫在紙上,因為熱脹冷縮、受潮起皺、鋪不平等會很容易引起失真;二,初縮時,照相機會有失真;三,步進重複照相時,同樣有失真;四,從掩模到晶圓上城鄉,還有失真。所以到現在每一塊芯片上集成的晶體管也才幾萬個,如果更多,以目前的這種工藝幾乎不可能了。”說完,迪爾博士還歎了一口氣,也許是在為自己在工藝上沒有取得更大突破而遺憾吧。
今天就這些吧,實在撐不住了,一天六千多字對我實在是個大挑戰。
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