中微國際有限公司2004由尹志堯在創立,尹志堯畢業於中國科學技術大學化學物理系,在矽谷英特爾公司、芯片研究所、應用材料公司等電漿蝕刻供職16年,在半導體領域尹志堯個人擁有60多項技術專利,被稱為“矽谷最成功的華人之一”。
尹志堯的回國離不開上海芯片產業的奠基人、國家大飛機項目的啟動者之一江上舟,他一直致力於推動包括大飛機和半導體在內的許多重大科技項目,中國內地最大的晶圓體代工廠中芯國際的創立也離不開他。
2004年,時年60歲的尹志堯決定回國創業。他說:“我給外國人做了幾十年嫁衣了,是時候報效祖國了。”與此同時,他還說服並帶回了一批在矽谷主流半導體設備公司或研究機構工作多年的資深華裔工程師,後來共有15位半導體領域資深工程師與已經60歲的尹志堯一起創建了中微公司。尹志堯雖然花甲之年,卻依然雄心萬丈。
尹志堯創業的時候加上政府的支持,才有不到6000萬的資金,在在投資巨大的半導體行業,無異於杯水車薪,而這個時候江上舟為他拉來了5000萬美元的無息貸款。這讓中微的發展一下進入了快車道。
有技術有資金,中微選擇挑戰蝕刻機和薄膜沉積設備,僅用了4年的時間,2008年,中微基於電感耦合技術研發的12英寸刻蝕設備。
它可以配置多達六個刻蝕反應腔和兩個可選的除膠反應腔。其中刻蝕反應腔采用了軸對稱設計,具有高反應氣體通量。ICP發射天線采用了中微具有自主知識產權的低電容耦合3D線圈設計,可實現對離子濃度和離子能量的高度獨立控制。反應腔內部塗有高致密性、耐等離子體侵蝕材料,以獲得更高的工藝重複性和生產率。中微自行研發的12英寸刻蝕機賣到了台灣,進入了芯片生產線。
中微從成立以來,目標一直就是:咬住國際先進水平不放松。但這讓中微承受了巨大的壓力,中微每年的研發支出差不多是5000萬美金,而這只是美國應用材料年均研發投入的1/20,中微2017年的銷售收入才不到2億美元,研發支出佔了銷售收入的30%。
不過中微還是用微薄的投入做出了驚人的成就,從2008年起,中微主要攻關的是介質刻蝕工藝,它先後成功開發和銷售了適用於65/45/28/20/14/10/7納米工藝製程的一系列等離子體刻蝕設備,始終保持著與當時的世界先進水平同步。
中微半導體CEO尹志堯形容說:“在米粒上刻字的微雕技藝上,一般能刻200個字已經是極限,而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝,相當於可以在米粒上刻10億個字的水平。”
中微生產和銷售的500多個刻蝕反應台已經在中國、RB、韓國、新加坡、中國台灣等國家和地區的40條先進芯片生產線上運行,高質量地生產了6000多萬片晶圓。2017年7月,台積電宣布將中微納入其7納米工藝設備商采購名單,使中微成為唯一進入台積電7納米工藝蝕刻設備的大陸本土設備商。
2017年初,在美國總統科學技術谘詢委員會向總統提交的報告《確保美國半導體的長期領導地位》中,中微是唯一被提及的中國企業。
此前,美國商務部在實地考察了中微和中芯國際後,於2015年2月9日公告放棄限制對華出口刻蝕設備並通報瓦森納協議。
這一事件標志著西方國家在集成電路高端裝備領域的壟斷和對華封鎖首次被打破。
2017年尹志堯更是宣布,中微已經掌握5nm技術,預計年底正式敲定5納米刻蝕機。無獨有偶,兩周後,IBM也宣布掌握5奈米技術。因此,尹志堯這一宣布,意味著中微在核心技術上突破了外企壟斷,中國半導體技術第一次佔領至高點。
這簡直是為中國的高精尖技術企業掙了一口氣,讓西方封鎖成為了笑話。
2018年深圳中微半導體自主研發的5nm等離子體蝕刻機,還通過了台積電的驗證,這標志著中國在蝕刻機領域已經領先世界。
除了介質刻蝕之外,中微在矽刻蝕上也做出了重大的突破,中微刻蝕設備已經裝備了國內所有的集成電路先進封裝企業。市場佔有率超過50%。同時還遠銷歐洲,應用於新興的微電機系統的傳感器製造。
在薄膜設備領域,像金屬有機物化學氣相沉積設備。用於製造藍光的中微設備在最近兩年,從幾乎為零的國內市場佔有率一舉實現超過70%的市場佔有率,徹底打破了美國維科和德國愛思強兩家供應商長期壟斷市場的局面。中微可以說是全球最大的供應商。
並且中微還在攻破金屬硬掩膜刻蝕領域,從而實現實現了矽刻蝕、介質刻蝕、金屬刻蝕的全覆蓋。
後面馬上就到了中微的高光時刻,中微取得了如此厲害的突破,自然也引來美國的不滿,你一個中國企業憑什麽做得這麽牛!10多年來,美國應用材料、泛林研發、維科三大半導體設備公司輪番對中微發起了商業機密和專利侵權的法律訴訟,意欲遏製中微的發展。
對此,中微有充分的準備,他們在國內外申請了1200多件相關專利,其中絕大部分是發明專利,有力地保護了其自主創新形成的知識產權。
尹志堯指出:自從成立以來,中微可以說是被美國起訴最多的公司,其中主要有四場大官司,這四場官司包括了專利訴訟,商業機密等多個方面,但是無一例外,中微都取得了勝利或者達成了和解。
四場大官司分別是2007年和全世界最大的半導體設備公司美國應用材料之戰;第二和第三場是2009年和美國科林研發之戰,這場官司一審科林就敗訴了,之後它們不服結果又繼續上訴,結果中微全贏;而第四場則是和美國維科之戰。
當時,美國維科在設備市場被中微打得節節敗退,所以他向約東區的聯邦法院對中微設備的晶圓承載器即石墨托盤供應商西格裡碳素展開了專利侵權訴訟,維科認為,西格裡碳素為中微半導體設計的石墨托盤侵犯了其專利,要求禁止西格裡碳素向中微供貨,並賠償巨額損失。
但其實這是維科侵權盜取了中微的專利,但是美國法院還是支持了維科的訴訟請求,禁止了西格裡碳素向中微供貨。2018年年初,中微決定以其人之道還治其人之身。
中微獲悉,美方涉嫌侵犯中微專利權的設備即將從上海浦東國際機場進口,隨即向上海海關提出扣留侵權嫌疑貨物的申請。這批貨物價值3000多萬,直接給予了維科重創,隻得乖乖坐下來談。
正如尹志堯自己所說的那樣,中微之所以能夠在專利戰中立於不敗之地,是做好了這五點:
中微一直在專利方面做好了五點工作:1、員工在入職的時候會簽署保密協議,保證不泄露任何機密文件,明確規定違反之後的後果和個人責任。
2、中微會詳細研究其他廠商的專利,明確的知道哪些地方不能碰,哪些地方可以繞過去。
3、中微目前已經申請了1200個專利,形成了自己的專利保護壁壘。
4、即便有了專利保護等措施,中微為了預防對手下黑手,利用時間等措施來拖垮中微,中微也設置了一定的應對措施,
5、中微不僅嚴格遵守中國的也遵守全世界各國的知識產權法律法規, 保證不會違反任何一個國家的法律。
後來中微在蝕刻機領域全球領先,在薄膜設備領域也取得了突破,成為後世中國高端技術公司的佼佼者之一。
李強還沒有找到合適的機會,一旦有機會李強必然會去投資中微國際,不為其他就算用大量資金隻為把中微國際提前催化出來也是值得的。這樣我國的硬件設備就不會有這麽多的阻礙了,以至於關鍵設備被國外卡脖子。
而這些結合起倪光南的話之後,李強大概明白自己要走的路了。李強現在是在考慮要將軟件和硬件分開成為兩家公司,還是統一由張亞勤管理。
在李強思索再三之後,決定還是新成立一家公司,將軟件和硬件分開,由倪光南倪老帶領一家公司來開發硬件半導體等設備。但是李強會把阿加調到硬件公司這邊,這也符合阿加的專業技術方向。順便有阿加和倪老雙方互相監督的感覺,這讓也更能讓李強放心。
而軟件系統方面則繼續由張亞勤主導,高級管理人員如果不夠的話會再行補充人才。
當李強將自己的想法告訴在座的各位,其他人都知道這是人家的公司,既然李強這般說了,那基本就會這麽進行了。
於是在大家都很同意的情況下,火星硬件國際即將正式開始上線了,只等公司的審批報到工商局就可以正式營業了。
這讓李強的大軍之中又出現一隻猛虎啊!火星硬件國際光聽名字就知道有點俗氣了,但是這並不會影響它的偉大。