早上七點半，路芒覺得自己起的已經夠早了，畢竟他高三的時候也就這個點起床了。

　　只是讓他沒有想到的是，這個點，在工廠的前面，程銘竟然已經等在了工廠門口了。

　　這讓路芒咯噔一下，讓人等這麽久可是有些不太好，他趕緊上前幾步。

　　“程教授，程教授，你怎麽這麽早就過來了，等了很久了吧?”路芒說道。

　　程銘笑著擺了擺手:“沒事，沒事，也沒多久。”

　　路芒當然不會相信程銘這句話，一看這程銘的樣子就是已經等了些許時間了。

　　剛才他到廠門口的時候，都看見程銘在廠門口轉圈了，顯然是等著有些無聊了，怎麽可能是剛到的樣子。

　　“程教授，你直接打我電話就好了，我接到就會過來的呀！”路芒略微有些急促地說道，讓程銘在門口等了這麽久，顯然有些不符合他的處事原則。

　　程銘拍了拍衣服，將眼鏡扶正，說道:“我過來已經是打擾你了，也沒有等多久，不用放在心上。”

　　說完，他從手提包中拿出了一張紙條遞給了路芒。

　　路芒接過來一看，是一張檢測報告單。

　　上面下達的結論是，按照鑒別Ⅰ的方法進行檢測，該光刻設備精度達到14nm製程。

　　這是一張沒有任何人簽名的檢測報告單，意味著這張報告單是沒有任何法律效應的。

　　“額，程教授，這是?”路芒有些疑惑地問道。

　　程銘潤了一下嘴唇，看著左右也沒有人，說道:“路老師，這是我們實驗室對你那塊晶圓檢測之後得到的結論。”

　　“從晶圓的雕刻水準來看，應該是達到了14nm的水準，不過由於上面是世界地圖，沒辦法通電檢測。”

　　“路老師，請問這片晶圓真的是這邊工廠做出來的麽?”

　　路芒心中一下就清楚了，原來如此。

　　對於他這塊晶圓上的雕刻精度，他是一清二楚的，不過當時程銘似乎對他組裝的光刻機沒有太大興趣，所以他在後面也就一直也沒怎麽提。

　　“程教授，這確實是出自我自己裝的那台光刻機中，你這次來是想看一看我那台光刻機麽?”

　　見路芒提起，程銘也不多說廢話了:“對，我確實是為了這台光刻機而來的，請問，你那個光刻機是不是已經來到了14nm的製程?”

　　“這對夏國很重要，我們目前最缺的就是能製作這個檔次芯片的設備。”

　　“14nm的製程已經足夠目前市場使用，雖然比不上那些高端芯片，但至少不會因為芯片斷供而出現民生問題。”

　　“所以，請問，您的光刻機，是不是已經達到了14nm的極紫外光等級！”

　　看著期待的程銘，路芒卻是緩緩搖了搖頭:“不是的，我那台光刻機仍然沒有達到極紫外光，是深紫外光光刻機。”

　　聞言，程銘有些失望了，目前夏國在DUV光刻機上還是有技術儲備的，並且成功用其製作了28nm製程的芯片，良品率不錯，並不算缺。

　　如果路芒這邊的不是EUV，而是DUV，那價值就差了不止一籌，不，應該說一半都不足。

　　不過，一會後，程銘就釋然了，如果路芒能做EUV光刻機，那又何必另辟蹊徑去搞光刻廠呢。

　　光刻廠的投資可是比傳統光刻要高多了。

　　“原來如此，看起來是我們的實驗室儀器精度差了一點，出了些偏差。”程銘歎了口氣，如此說道。

　　路芒撓了撓腦袋:“程教授，雖然我做的確實是DUV光刻機，但製程上完全可以做到14nm，甚至可以勉強做到5nm，就是一塊晶圓可能就能刻不出幾塊良品就是了。”

　　“……”程銘看著路芒，半晌沒有回話，峰回路轉之下，他被驚住了，如果是換個人和他說用DUV可以刻出5nm的電路，他直接一巴掌甩過去，看看是不是得癔症了。

　　但現在說話的人確實在前兩天送了一塊在他們實驗室測出來能達到14nm精度的晶圓。

　　這就有意思了。

　　他潛意識裡是有點相信路芒的話的。

　　路芒見程銘愣在那，知道是自己的話有點驚世駭俗。

　　用DUV確實是可以做到7nm，不過良品率是一方面，另一方面是多重曝光技術也是封鎖的一環。

　　目前夏國能做到的頂多也就是利用目前掌握的多重曝光技術製作的14nm。

　　至於7nm，就是還沒有攻克，且一直在想辦法的技術之一了。

　　自己這陡然說出用DUV做出5nm的精度，確實是有些嚇人。

　　“不如，我們直接上手試試吧。”

　　程銘摩擦了自己的胡茬幾下，從手提包中又拿出了一份芯片圖紙出來?

　　“不如我們直接試試做芯片電路吧。 ”

　　“這是我們實驗室設計的14nm芯片的電路圖，苦於沒有合適的設備可以加工，要不你這給我們試試?”

　　路芒當然是滿口答應，這不費什麽事，就連晶圓都是沙子搞得，也就是耗電量比較大。

　　不過因為他這個廠子的特性，供電公司給他這邊開出的電費基本和民用電差不多，所以其實也還算便宜。

　　路芒當然看不懂芯片電路。

　　他大概給程銘介紹了一下機器的編程方式以及使用方式，就退到一邊，看程銘的表演了。

　　程銘看了看自己所在的無塵間，外面看起來就是個板房，他倒是沒想到裡面竟然是一個無塵等級這麽高的實驗室。

　　這讓他對於這台機器的性能，信心大增。

　　他在電腦上一通操作，雖然是第一次使用，不過路芒這台機器的軟件也是特意編輯的，不算複雜。

　　對於用過相關軟件的程銘來說，還算簡單。

　　很快，也不是很快，其實已經過了七八個小時。

　　路芒算是明白了為什麽研究人員會得胃病了，七八個小時，程銘就沒停過，也不吃飯，一直在敲鍵盤。

　　不過，終於，這加工程序還是出現在了光刻機的內存中。

　　晶圓被送入光刻機。

　　紫外光源啟動，開始工作。

　　DUV是193nm，事實上這種光源不算難弄，常用的紫外分光光度計中最低一般也可以到190nm。

　　而就是這台193nm的光刻機，即將讓程銘欣喜萬分。