均勻地在已經氧化好的晶圓上，塗上光刻膠，機器開始工作，DUV被激發，然後通過掩膜落在了晶圓之上。

　　程銘作為老司機，清楚地看到這個機器其實用的還是多重曝光技術。

　　DUV的分辨率僅能達到38nm的檔次，要用其刻出14nm乃至7nm的寬就得用到多重曝光。

　　紫外光通過掩膜進行第一次曝光，在用沉積讓其加寬加粗，再進行第二次曝光，這樣就得到了雙重密度的圖像。

　　這種方式其實不算太機密，機密的是實現的工藝手法，而路芒這台機器實現的工藝似乎和目前流傳的都不太一樣。

　　在當前工藝下，光刻機可以在極短的時間內對晶進行了四次曝光。

　　也就是這和其他廠商完全不同的曝光技術保證了其在14nm時擁有相當好的光刻精度。

　　甚至可以想辦法做到5nm！

　　整個光刻過程是很快的，雖然因為多重曝光，比單次曝光的時長多了一些，但也就五分鍾，整個光刻就結束了。

　　光刻僅僅是將電路設計圖刻在了光刻膠上，清洗完之後就可以進行蝕刻了。

　　蝕刻完，這些電路圖才算是正式來到了晶圓上。

　　下一步便是注入離子在晶圓表面形成數以億計的晶體管。

　　後面還得經過熱處理，經過鍍銅，最後將晶體管全部連接起來，這塊芯片才算是初步完成。

　　一直到了晚上八點鍾，程銘終於呼出了一口氣，從工作狀態中脫離了出來。

　　而在他手上的正式一塊已經被切下來已經完成了封裝的芯片。

　　他帶過來的電路設計圖，是正兒八經的14nm製程，算是目前夏國攻克14nm穩定產出後就準備上馬的芯片項目。

　　他本來是覺得，按照目前的科研速度，至少也得等個一兩年，他手上的設計圖才有被用上的可能。

　　沒想到的是，今天，他竟然就拿到了這份設計圖做出的成品，這就和在做夢一樣。

　　拿著這塊芯片，他狠狠揪了一下自己的胳膊，直到感覺到了疼痛感才讓他有些真實感。

　　“程教授，你出去吃點東西吧，一天沒吃飯了。”路芒再次從實驗室外面走了進來，有些擔心地對著程銘說道。

　　要是知道面前這個快要六十的老人，工作起來這麽不要命，他都不想把他帶進來了。

　　一整天對著控制台，就沒有離開過廠房，一會操作光刻機，一會操作後面的蝕刻，路芒每次進來，這位都在忙碌著。

　　讓他去吃飯，也是被他直接轟了出去。

　　“好啊，是該吃飯了！”

　　本以為這次程銘也不會答應的路芒，卻是聽到了程銘的回答聲。

　　路芒一看，這程銘正拿著一小塊立方體，滿面笑容。

　　腦筋一轉，大概明白應該是成功了。

　　他臉上也露出了欣喜的笑容，這台光刻機雖然是他親手搭起來的，腦子裡的知識也告訴他，這玩意絕對能輕松駕馭14nm。

　　但畢竟沒有經過實戰考驗，今天程銘在做的時候，他心裡也在不停打鼓。

　　就怕這台光刻機達不到說明等級，要是這台光刻機達不到說明等級，那也就意味著光刻工廠可能也懸。

　　縱然是系統出品，但路芒仍然是止不住地擔心，這也算是人之常情。

　　程銘搖搖頭:“還不清楚，雖然做是做出來了，但是還沒有經過測試，不太清楚這塊芯片是不是能正常使用。”

　　“我們去吃飯吧，我請你，我有一個想法，我們邊吃邊說。”

　　程銘將這塊芯片用靜電袋裝了起來，又用緩衝袋裝了起來，放進小盒子裡，最後才塞進了自己的手提袋裡。

　　這才算放心。

　　隨後就夾著手提袋，招呼著路芒出去吃飯。

　　時間已經不早了，附近本來就是荒郊野外，食堂的廚師早就回家了。

　　讓他留著的飯菜也冷了。

　　附近唯一一家餐館在五公裡外，而且這個點人家也已經關門停止營業了。

　　路芒索性開出了自己的小五菱，馱著程銘，就進了城裡。

　　兩人隨便找了一家看起來比較清淨的面館，就坐了下來。

　　面館的東西上的比較快，不過幾分鍾，兩碗面就被端了上來。

　　程銘拿起一次性筷子，掰開就先夾了一大塊塞進了嘴裡，顯然是今天餓急了。

　　等到把面咽下去後，才舒了口氣，對著路芒說道:“路老師，我有一個想法。”

　　“之前，我是覺得你的光刻廠成功率很高，所以想著是趕緊將項目推上去。”

　　路芒點點頭，這方面程銘之前就已經和他說過了。

　　“不過今天我覺得我們的策略應該變一變。”

　　路芒皺起了眉頭， 心想，程教授這個意思難道是覺得自己這個DUV光刻機還有發展前景，要先停光刻廠項目?

　　這和他的的初衷可就完全不一樣了！

　　再說他很清楚這個光刻機極限就是7nm，用來製作5nm芯片完全是得不償失。

　　程銘見路芒沒有反應，抬頭看了一下，就看見路芒嚴肅的表情，他立刻明白了，面前這個年輕人誤會了！

　　“路老師，你別誤會！”

　　“我的意思不是停止光刻廠的建造。”

　　“而是光刻廠建造是需要時間的，就算綠燈全開，整個廠子建起來沒有四五年年也很難完成。”

　　這一點路芒倒是有不同意見，畢竟他已經有了整套工廠設計圖，再加上全能工廠還能建造建築模塊。

　　只要項目開始推進，頂多一年的時間，整個光刻廠項目就能完成落地。

　　不過，路芒想看看程銘要說什麽，所以並沒有打斷?

　　“我的想法是將路老師的光刻機擺在光刻項目計劃的明面上。”

　　“路老師應該也知道，對面對我們的技術封鎖是很嚴厲的，但同時他們也非常擔心我們自己突破技術壁壘。”

　　“假如，我們透出自己已經有製造EUV光刻機的能力……”

　　程銘看著路芒。

　　路芒也明白了，這是要迫使對面放開光刻機限制來減弱夏國的自研決心。

　　有現成的，你又何必去自己研發呢。

　　“有一個問題，我的並不是EUV啊。”

　　程銘笑了笑:“是啊，但是誰知道呢?”